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用于固态LiDAR的矩阵可寻址VCSEL.pdf

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一种用于光检测和测距系统的矩阵可寻址垂直腔表面发射激光器阵列包括形成在管芯上的多行垂直腔表面发射激光器,其中一行垂直腔表面发射激光器包括各自在管芯的一侧配置有阴极电连接的多个垂直腔表面发射激光器,并且另一行垂直腔表面发射激光器包括各自在管芯的另一侧配置有阴极电连接的多个垂直腔表面发射激光器。每一行垂直腔表面发射激光器都配置成当被激活时保持1级眼睛安全。