具有小角发散度的VCSEL阵列LIDAR发送器.pdf
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具有小角发散度的VCSEL阵列LIDAR发送器.pdf
本公开涉及具有小角发散度的VCSEL阵列LIDAR发送器。光检测和测距(LIDAR)发送器包括生成多个光束的多个光发射器。第一透镜被定位在多个光束的光路中,与多个光发射器中的至少一个的距离小于第一透镜的焦距。第一透镜将多个光束会聚为具有光束腰的会聚光束。第二透镜被定位在会聚光束的光路中。第二透镜将会聚光束投射到目标范围。第二透镜的位置和多个光发射器中的至少一个的发射宽度被配置为在目标范围处提供LIDAR发送器的期望视场。
VCSEL窄发散度接近度传感器.pdf
本发明公开一种接近度传感器,所述接近度传感器将来自垂直腔面发射激光器(VCSEL)的极窄发散光束用于照明源。可达成在0.5度到10度的范围内的窄发散光束以在小占据面积组件中提供高接近度感测准确度。一种减小光束发散度的方法是使用外部第三镜增加VCSEL谐振腔的长度。第二实施方式通过修改DBR镜和增益区域来延长VCSEL腔的长度。光学微透镜可与所述VCSEL耦合以准直输出光束并且减小所述光束发散度。这些光学微透镜可为单独光学元件或通过修改基板输出表面轮廓或添加透明层以与所述VCEL集成在一起。这些光束发散度减
VCSEL芯片制造方法及VCSEL阵列.pdf
本发明公开了一种VCSEL芯片制造方法,属于半导体激光器制造技术领域。本发明VCSEL芯片制造方法包括:在外延片上形成多个具有氧化限制型结构的主动区平台的步骤,所述制造方法还包括:在所形成的多个主动区平台之间的沟槽底部沉积具有拉应力的应力补偿层的步骤。本发明还公开了一种VCSEL阵列。针对VCSEL芯片制造过程中由于叠层DBR压应力所导致的翘曲问题,本发明对现有制造工艺进行改进,在氧化限制型的主动区平台制作完成后,在主动区平台之间的沟槽底部沉积具有拉应力的应力补偿层,以对叠层DBR所产生的压应力进行抵消,
用于固态LiDAR的矩阵可寻址VCSEL.pdf
一种用于光检测和测距系统的矩阵可寻址垂直腔表面发射激光器阵列包括形成在管芯上的多行垂直腔表面发射激光器,其中一行垂直腔表面发射激光器包括各自在管芯的一侧配置有阴极电连接的多个垂直腔表面发射激光器,并且另一行垂直腔表面发射激光器包括各自在管芯的另一侧配置有阴极电连接的多个垂直腔表面发射激光器。每一行垂直腔表面发射激光器都配置成当被激活时保持1级眼睛安全。
实现VCSEL阵列或VCSEL器件的集成电路.pdf
一种半导体器件包括多个VCSEL器件(或一个VCSEL器件),其由包括以下项的层结构形成:(一个或多个)底部n型层、(一个或多个)中间p型层、形成在(一个或多个)中间p型层之上的n型调制掺杂量子阱结构、形成在(一个或多个)中间p型层和n型调制掺杂量子阱结构之间的至少一个间隔物层以及(一个或多个)顶部p型层。退火的氧注入区垂直设置在至少一个间隔物层内,以及退火的n型离子注入区垂直设置在(一个或多个)顶部p型层内。两个离子注入区可以以连续的方式在多个VCSEL器件之间围绕并横向延伸,以用于电流汇集和隔离。此外