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[课题]提供能够形成耐酸蚀刻的含硅膜的聚碳硅氮烷和包含该聚碳硅氮烷的组合物。[解决方案]本发明提供一种聚碳硅氮烷,其包含?[R1R2Si?(CH2)n]?和?(R3R4Si?NR5)?的重复单元,其中R1、R2、R3和R4各自独立地为单键、氢或C1?4烷基;R5独立地为单键或氢;n为1至2,以及一种包含该聚碳硅氮烷的组合物。本发明还提供了一种形成含硅膜的方法,包括将该组合物涂布在基材上并加热。