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真空泵及真空泵的旋转体.pdf
2023-05-12
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诗文****仙女
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真空泵及真空泵的旋转体.pdf
本发明能够防止放电时颗粒逆流。本发明是一种真空泵(100),前述真空泵(100)具备外装体(127、129)、定子柱(122)、旋转体(103)、磁轴承(104、105、106A、106B),前述外装体(127、129)设置有吸气口(101)及排气口(133),前述定子柱(122)在外装体的内部立起设置,前述旋转体(103)为将定子柱的外周包围的形状,前述磁轴承(104、105、106A、106B)使旋转体的旋转轴磁悬浮来支承,前述真空泵通过旋转体的旋转,将气体从吸气口抽吸,从排气口排出,前述真空泵的特征
2023-05-12
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