真空泵以及真空泵的控制装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113348305A(43)申请公布日2021.09.03(21)申请号202080009751.3(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2020.01.27司72001代理人李婷万欣(30)优先权数据2019-0171172019.02.01JP(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.07.16(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0027452020.01.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/158658JA2020.08.06(71)申请人埃地沃兹日本有限公司地址日本千叶县(72)发明人深美英夫权利要求书1页说明书9页附图7页(54)发明名称真空泵以及真空泵的控制装置(57)摘要提供一种真空泵以及真空泵的控制装置，通过创建能够定量且容易地判断旋转翼的疲劳程度的指标而能够准确地判断旋转翼更换的时机。将从马达驱动控制部（5）输出的马达电流值输入至时间计数处理部（13），在该时间计数处理部（13）中，将在电流值的每个阶段旋转体（103）的电流值停留于该阶段的范围内的时间进行累计。此外，从旋转翼温度测量部（7）输出的旋转翼温度值被输入时间计数处理部（13）。并且，采样取得的旋转翼温度值取的一分钟内的平均值。之后，将该平均值在旋转翼温度值的每个阶段停留于该范围内的时间进行累计。在存储器（15）保存由时间计数处理部（13）累计的各时间值。在存储处理部（17）从存储器（15）读取数据，并保存于非易失性存储器（19）。CN113348305ACN113348305A权利要求书1/1页1.一种真空泵，是能够判断旋转翼更换的时机的真空泵，前述真空泵具有：旋转翼，被内置于真空泵本体；传感器，被配设于前述真空泵本体，测量与前述旋转翼关联的物理量，其中，具备：物理量提取机构，提取在前述真空泵的运行中由前述传感器测量到的前述物理量；设定机构，将由该物理量提取机构提取的前述物理量的变动范围预先设定为多个阶段；时间取得机构，在前述真空泵的运行中取得前述物理量属于每个前述阶段时的合计时间和整个阶段的合计时间；保存机构，保存由该时间取得机构取得的每个前述阶段的合计时间和前述整个阶段的合计时间；显示机构，显示由该保存机构保存的每个前述阶段的合计时间，或者每个前述阶段的合计时间相对于前述整个阶段的合计时间的比例。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备：比较机构，将由前述时间取得机构取得的前述每个阶段的合计时间与既定的阈值进行比较；警告发出机构，基于在该比较机构的比较结果发出警告。3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，前述传感器是测量内置于前述真空泵本体的前述旋转翼的温度的温度测量机构，或者是测量流经驱动前述旋转翼的马达的电流量的电流量测量机构。4.一种真空泵的控制装置，所述真空泵具有：旋转翼，被内置于真空泵本体；传感器，被配设于前述真空泵本体，测量与前述旋转翼关联的物理量，其中，具备：物理量提取机构，提取在前述真空泵的运行中由前述传感器测量到的前述物理量；设定机构，将由该物理量提取机构提取的前述物理量的变动范围预先设定为多个阶段；时间取得机构，在前述真空泵的运行中取得前述物理量属于每个前述阶段时的合计时间和整个阶段的合计时间；保存机构，保存由该时间取得机构取得的每个前述阶段的合计时间和前述整个阶段的合计时间；显示机构，显示由该保存机构保存的每个前述阶段的合计时间，或者每个前述阶段的合计时间相对于前述整个阶段的合计时间的比例，能够基于由该显示机构显示的前述每个阶段的合计时间或者前述比例来判断前述旋转翼的更换的时机。2CN113348305A说明书1/9页真空泵以及真空泵的控制装置技术领域[0001]本发明涉及一种真空泵以及真空泵的控制装置，特别地涉及通过创建能够定量且容易地判断旋转翼的疲劳程度的指标而能够准确地判断旋转翼更换的时机的真空泵以及真空泵的控制装置。背景技术[0002]随着近年来电子技术的发展，对存储器、集成电路这样的半导体的需要急速增加。[0003]这些半导体是将杂质掺杂于纯度极高的半导体基板而赋予其电学特性、或者通过蚀刻将精细的电路形成于半导体基板上等而制造的。[0004]并且，这些作业为了避免空气中灰尘等导致的影响，需要在高真空状态的腔室内进行。对于该腔室的排气，一般地使用真空泵，特别地从残留气体较少且维修容易等方面考虑，经常使用作为真空泵其中之一的涡轮分子泵。[0005]此外，在半导体的制造工序中，有数量很多的使各种各样的工艺气体作用于半导体的基板的工序，涡轮分子泵不仅用于使腔室内成为真空，也用于将这些工艺气体从腔室内排气。[0006]不