制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
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制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
本发明涉及一种用于制造真空泵、尤其是涡轮分子泵或摇杆活塞泵的构件的方法,其特征在于,构件借助生成式制造方法来制造。
真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法.pdf
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真空泵以及真空泵的控制装置.pdf
提供一种真空泵以及真空泵的控制装置,通过创建能够定量且容易地判断旋转翼的疲劳程度的指标而能够准确地判断旋转翼更换的时机。将从马达驱动控制部(5)输出的马达电流值输入至时间计数处理部(13),在该时间计数处理部(13)中,将在电流值的每个阶段旋转体(103)的电流值停留于该阶段的范围内的时间进行累计。此外,从旋转翼温度测量部(7)输出的旋转翼温度值被输入时间计数处理部(13)。并且,采样取得的旋转翼温度值取的一分钟内的平均值。之后,将该平均值在旋转翼温度值的每个阶段停留于该范围内的时间进行累计。在存储器(1
真空泵及真空泵的旋转体.pdf
本发明能够防止放电时颗粒逆流。本发明是一种真空泵(100),前述真空泵(100)具备外装体(127、129)、定子柱(122)、旋转体(103)、磁轴承(104、105、106A、106B),前述外装体(127、129)设置有吸气口(101)及排气口(133),前述定子柱(122)在外装体的内部立起设置,前述旋转体(103)为将定子柱的外周包围的形状,前述磁轴承(104、105、106A、106B)使旋转体的旋转轴磁悬浮来支承,前述真空泵通过旋转体的旋转,将气体从吸气口抽吸,从排气口排出,前述真空泵的特征