

制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
一吃****仕龙
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制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
本发明涉及一种用于制造真空泵、尤其是涡轮分子泵或摇杆活塞泵的构件的方法,其特征在于,构件借助生成式制造方法来制造。
真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法.pdf
本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法,其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化,高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化,从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体(4A)与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体(4B),构成为在第2圆筒体(4B)的外周面上以多级配置有多个动翼(6),由第1圆筒体(4A)的内表面(S1)与第2圆筒体(4B)的内表面(S2)构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体(4A)的外表面(Q
电动真空泵的控制装置及电动真空泵的控制方法.pdf
本发明提供一种电动真空泵的控制装置以及一种电动真空泵的控制方法,其可以在提高电动真空泵的性能的同时延长电动真空泵的使用寿命。一种产生负压的电动真空泵的控制装置具有对电动真空泵产生的负压进行检测的负压检测装置,以及在负压检测装置所检测到的负压大于或等于规定值的情况下停止电动真空泵的泵停止控制装置,泵停止控制装置被配置成:基于泵填充性能基准数据即电动真空泵初始阶段的与经过时间相对应的负压率的数据,根据泵填充性能当前数据即电动真空泵现阶段的与经过时间相对应的负压率的数据,来决定电动真空泵现阶段的OFF时间点。
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真空泵以及真空泵的控制装置.pdf
提供一种真空泵以及真空泵的控制装置,通过创建能够定量且容易地判断旋转翼的疲劳程度的指标而能够准确地判断旋转翼更换的时机。将从马达驱动控制部(5)输出的马达电流值输入至时间计数处理部(13),在该时间计数处理部(13)中,将在电流值的每个阶段旋转体(103)的电流值停留于该阶段的范围内的时间进行累计。此外,从旋转翼温度测量部(7)输出的旋转翼温度值被输入时间计数处理部(13)。并且,采样取得的旋转翼温度值取的一分钟内的平均值。之后,将该平均值在旋转翼温度值的每个阶段停留于该范围内的时间进行累计。在存储器(1