制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
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制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵.pdf
本发明涉及一种用于制造真空泵、尤其是涡轮分子泵或摇杆活塞泵的构件的方法,其特征在于,构件借助生成式制造方法来制造。
真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法.pdf
本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法,其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化,高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化,从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体(4A)与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体(4B),构成为在第2圆筒体(4B)的外周面上以多级配置有多个动翼(6),由第1圆筒体(4A)的内表面(S1)与第2圆筒体(4B)的内表面(S2)构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体(4A)的外表面(Q
真空泵及真空泵的旋转体.pdf
本发明能够防止放电时颗粒逆流。本发明是一种真空泵(100),前述真空泵(100)具备外装体(127、129)、定子柱(122)、旋转体(103)、磁轴承(104、105、106A、106B),前述外装体(127、129)设置有吸气口(101)及排气口(133),前述定子柱(122)在外装体的内部立起设置,前述旋转体(103)为将定子柱的外周包围的形状,前述磁轴承(104、105、106A、106B)使旋转体的旋转轴磁悬浮来支承,前述真空泵通过旋转体的旋转,将气体从吸气口抽吸,从排气口排出,前述真空泵的特征
真空泵以及真空泵的控制装置.pdf
提供一种真空泵以及真空泵的控制装置,通过创建能够定量且容易地判断旋转翼的疲劳程度的指标而能够准确地判断旋转翼更换的时机。将从马达驱动控制部(5)输出的马达电流值输入至时间计数处理部(13),在该时间计数处理部(13)中,将在电流值的每个阶段旋转体(103)的电流值停留于该阶段的范围内的时间进行累计。此外,从旋转翼温度测量部(7)输出的旋转翼温度值被输入时间计数处理部(13)。并且,采样取得的旋转翼温度值取的一分钟内的平均值。之后,将该平均值在旋转翼温度值的每个阶段停留于该范围内的时间进行累计。在存储器(1
真空泵及真空泵用零件.pdf
为了不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而实现转子的效率良好的散热,真空泵(P)具有气体吸气口(2)和气体排气口(3)的外装壳(1)以及在外装壳(1)中旋转的转子(6),借助转子(6)的旋转,进行从气体吸气口(2)向气体排气口(3)的气体的排气;在真空泵(P)中,将转子(6)的形状做成大致圆筒形状,在转子(6)的内周面与定子柱(4)之间流动着吹扫气体(PG),所述定子柱(4)与转子(6)的内周面的至少一部分对置,并且在吹扫气体(PG)的流路设置有将吹扫气体(PG)的流动扰乱的突起(41)或槽(43)。