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一种柔性GaSb薄膜制备方法.pdf
2023-05-12
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爱欢****23
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本发明公开了柔性GaSb薄膜制备方法,其技术方案要点是:柔性GaSb薄膜制备方法,包括如下步骤:步骤1:GaSb晶圆端面注入Al离子;步骤2:GaSb晶圆端部注入O离子,O离子与Al离子深度一致;步骤3:GaSb晶圆侧壁注入Al离子;步骤4:GaSb晶圆注入Al离子一侧侧壁位置注入O离子,O离子与步骤3所注入的Al离子位置一致;步骤5:将GaSb晶圆通过退火炉高温退火;步骤6:将柔性基底粘附在GaSb晶圆的离子注入面;步骤7:将GaSb晶圆表层撕下,由在GaSb晶圆侧壁注入Al离子及O离子位置作为起始点撕
2023-05-12
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本发明公开了一种柔性薄膜的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：由一挤出机挤出一热塑性树脂；以及以一柔性模具及一滚轮机构压印所述热塑性树脂，所述柔性模具有一第一图形，以形成一具有一第二图形的柔性薄膜。本发明实施例提供的柔性薄膜的制备方法，通过柔性模具与滚轮机构的配合，可以在不使用价格昂贵的具有图样的滚轮的情况下，制作出具有高质量的柔性薄膜，不仅成本降低，且柔性薄膜在拉伸的过程中也不会因图样层与基膜的材质不同，而发生龟裂、变形或脱落。
2023-08-29
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本发明公布了一种柔性石墨薄膜的制备方法，其步骤依次为：(1)在一石英衬底上涂覆一层高温PMMA电子束胶；(2)再将PI胶涂覆在石英衬底上；(3)对黏附有PI胶的石英衬底放入烘箱进行固化；(4)将涂覆有PMMA电子束胶、PI胶的石英衬底放置在丙酮中进行剥离，形成PI膜；(5)将该PI膜放入碳化炉进行碳化，形成柔性石墨薄膜。本发明应用于柔性电子制造领域。
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本发明公开了一种柔性电极薄膜制备方法，包括以下步骤：S1、提供导电层，在所述导电层表面设置压印胶；S2、提供压印模板，所述压印模板表面具有形成图形化纹路的微结构，且所述微结构对应位置设有遮挡结构；S3、用所述压印模板压印步骤S1中所述的压印胶，并固化，分离压印模具，所述压印胶上形成于压印模具表面微结构互补的预图形化纹路；S4、清洗所述预图形化纹路与导电层之间的残留压印胶，使导电层裸露，进而形成图形化纹路；S5、将步骤S4中图形化纹路处沉积金属，形成柔性电极薄膜。在模具图形处设有遮挡结构上压印，图形处和导电
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2023-06-05
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