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提供无裂纹的层叠膜和包含该层叠膜的结构体。该层叠膜包含缓冲层和配置在前述缓冲层之上的至少1层的氮化镓系膜。另外,层叠膜整体的压缩应力为?2.0GPa以上且5.0GPa以下。