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本实用新型公开了一种缓冲抛光垫,包括抛光层和背胶层,还包括中间胶层和缓冲层,所述中间胶层和缓冲层均位于抛光层和背胶层之间,所述缓冲层设在中间胶层和背胶层之间,中间胶层设在缓冲层和抛光层之间。该缓冲抛光垫结构设计合理,结合现有硬质和软质抛光垫的优点,在保证抛光去除率的同时提升了抛光过程中的均匀性;通过缓冲的弹性弥补抛光垫形貌变化对抛光效果的影响,提升不同设备抛光效果的一致性;通过缓冲层的弹性弥补抛光垫形貌变化对抛光效果的影响,因此不需要使用金刚石修整,抛光垫使用寿命大大提升;减少了人力维护,提升生产效率。