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提供:具有高的结晶性和平坦性的层叠膜结构体和其制造方法。该层叠膜结构体具备:Si(111)基板;设置在前述Si(111)基板上的由氮化物系材料和/或铝形成的第1薄膜;和,设置在前述第1薄膜上的由氮化物系材料形成的第2薄膜,在前述Si(111)基板上存在厚度为0nm以上且低于1.0nm的非层晶体,前述层叠膜结构体的表面的(0002)面的摇摆曲线的半值宽度(FWHM)为1.50°以下。