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一种固定结构、静电装置及其制作方法.pdf

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本发明提供一种固定结构,所述固定结构包括两个固定柱(1)和设置在两个所述固定柱(1)之间的连接架(2),其中,两个所述固定柱(1)的上端分别与所述连接架(2)的两端固定,所述固定柱(1)的下端用于与静电装置的呈中空腔的吸附极(7)进行固定。此外本发明还提供了一种静电装置及其制作方法。本发明具有结构简单、可从外部实现快速装配、实现工况的个别调试、提高了放电极与吸附极之间的高精度同轴安装的特点。