一种硅掺杂的纳米金刚石晶粒的制备方法.pdf

本发明属于金刚石技术领域,具体涉及一种硅掺杂的纳米金刚石晶粒的制备方法,包括如下步骤:步骤1,将硅衬底进行研磨处理;步骤2,在研磨处理好的硅衬底上沉积金刚石;步骤3,对沉积金刚石二次压缩沉积;步骤4,反复步骤2和步骤3,得到硅掺杂的金刚石薄膜;步骤5,将金刚石薄膜进行剥离处理,得到硅掺杂的纳米金刚石晶粒。本发明解决了现有金刚石沉积的缺陷,利用甲硅烷和甲烷的压缩沉积体系,能够形成金刚石表面的空隙填补,有效的改善了金刚石粗糙的问题,同时配合低浓度沉积与硅元素的活性吸引,保证硅元素的掺杂性与被包裹特点。