一种玻璃晶圆镀膜设备.pdf

本实用新型涉及玻璃晶圆生产技术领域,且公开了一种玻璃晶圆镀膜设备,包括支撑座和电动机,所述支撑座的上表面固定连接有箱体,所述箱体的内部对称设置有两个工作台,两个所述工作台通过驱动机构与支撑座驱动连接,所述支撑座的下表面固定连接有气缸,所述气缸的活塞杆贯穿支撑座和箱体且向箱体的内部延伸,所述气缸的活塞杆的上端固定连接有固定块,所述固定块的内部设置有空腔,所述空腔的内部设置有连杆,所述连杆的两端杆壁分别通过第一轴承与空腔的左、右侧壁转动连接,所述连杆的两端分别贯穿空腔的左、右侧壁且向外延伸。本实用新型便于操作人员对两个压板表面的镀膜废料进行清理。