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一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置.pdf

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本实用新型提供一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置,包括涂胶显影设备、设于涂胶显影设备一侧开设工作槽开口位置的防护门、以及设于工作槽内对晶圆加工的涂胶显影模块,工作槽内且临近防护门的位置设置有防尘机构,防尘机构包括设于工作槽内可在工作槽开口位置形成空气气幕的防尘组件;防尘组件包括顶侧通过安装件设于工作槽内临近涂胶显影设备顶端槽壁上且底侧侧面开设喷气孔朝向工作槽开口位置的气动喷头;本实用新型可以避免外部颗粒进入到设备内部,提高了晶圆生产的良品率。