一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115729058A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202211420447.5(22)申请日2022.11.14(71)申请人上海图双精密装备有限公司地址200000上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路955弄1号1层西侧(72)发明人钟敏(74)专利代理机构上海互顺专利代理事务所(普通合伙)31332专利代理师韦志刚曹月明(51)Int.Cl.G03F7/30(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统(57)摘要本发明公开了一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，包括涂胶显影设备和螺栓在涂胶显影设备前端左顶侧的控制面板，通过第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐等部件为涂胶显影药液提供存储，缓冲和回收作用，并通过第一气动阀和控制阀门等部件为涂胶显影药液提供导流和输出等作用，然后通过过滤器和溢流阀为药液提供回收过滤利用效果，通过电路控制系统和单片机的智能化控制从而能实时监测各单元、传感器的状态，从当前停止位置判断出问题所在并快速解决问题，进而可通过下载新的程序，添加连接需求硬件，从而可满足各种工作需要，通过压力表和调节阀以及流量表的实时监测显影用药液或者气体的各种数据，从而能实时得到供液系统的运行状态数据。CN115729058ACN115729058A权利要求书1/2页1.一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，包括涂胶显影设备(1)和螺栓在涂胶显影设备(1)前端左顶侧的控制面板(2)；其特征在于：还包括安装在涂胶显影设备(1)内部的供液组件(3)和控制组件(4)以及安装在涂胶显影设备(1)前端右顶侧的监测组件(5)，所述供液组件(3)包括螺栓安装在涂胶显影设备(1)内部右腔的HMDS系统(31)以及螺栓安装在涂胶显影设备(1)内部左腔的第一供液系统(32)和第二供液系统(33)，所述第一供液系统(32)和第二供液系统(33)分别设为COAT供液系统和DEV供液系统，且第一供液系统(32)和第二供液系统(33)的构成部件结构相同。2.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述HMDS系统(31)包括通过套环螺栓安装在涂胶显影设备(1)内右腔右壁的第一贮留罐(311)和气泡罐(314)以及泄放罐(3111)，所述第一贮留罐(311)底部管道安装有起到导流作用的第一气动阀(312)；所述第一贮留罐(311)和第一气动阀(312)连接管道上螺栓安装有起到流量监测作用的流量计(313)，所述第一气动阀(312)底部管道安装有起到缓冲作用的气泡罐(314)，所述气泡罐(314)顶部顶部螺栓安装有起到液位检测作用的第一液位传感器(315)和管道安装在气泡罐(314)顶部的第二气动阀(316)以及管道安装在气泡罐(314)底部起到增压作用的增压泵(318)以及螺栓安装在气泡罐(314)左端的过滤器(319)。3.根据权利要求2所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第二气动阀(316)后端进气口管道安装有起到导流作用的N管(317)，所述增压泵(318)顶部管口螺栓安装在过滤器(319)底部开口处，所述过滤器(319)顶部管道安装有起到溢流作用的溢流阀(3110)，所述溢流阀(3110)后端管口通过连管焊接安装在泄放罐(3111)顶部开口处和管道安装在溢流阀(3110)左端的控制阀门(3112)，所述第一气动阀(312)、流量计(313)、第一液位传感器(315)、第二气动阀(316)、增压泵(318)和溢流阀(3110)以及控制阀门(3112)均与控制面板(2)电连接。4.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第一供液系统(32)包括通过套环螺栓在涂胶显影设备(1)内左腔的第二贮留罐(321)和第一缓冲罐(324)以及第二缓冲罐(325)，所述涂胶显影设备(1)内左腔顶部右端螺栓安装有压力表(327)和调节阀(328)，所述第二贮留罐(321)底部管道安装第三气动阀(322)，所述第三气动阀(322)底部通过连管螺栓安装有起到换向作用的换向阀(323)，所述换向阀(323)前后两端通过连管分别与第一缓冲罐(324)和第二缓冲罐(325)顶部开口管道安装，所述第一缓冲罐(324)和第二缓冲罐(325)顶部均螺栓安装有第二液位传感器(326)，所述第三气动阀(322)、换向阀(323)、第二液位传感器(326)和压力表(327)以及调节阀(328)均与控制面板(2)电连接。5.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述控制组件(4)包括电路控制系统(41)和单片机(42)，所述电路控制系统(