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晶圆冷却装置及涂胶显影设备.pdf

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本实用新型公开一种晶圆冷却装置及涂胶显影设备,所述晶圆冷却装置包括箱体、多个水冷结构以及供水结构和排水结构,所述箱体形成有侧部开口的冷却腔,多个所述水冷结构沿上下向依次设置于所述冷却腔内,各所述水冷结构包括多个水冷盘,多个所述水冷盘均处于同一水平面,多个所述水冷盘的上端面用以承载晶圆,各所述水冷盘具有进水口、出水口以及连通所述进水口和所述出水口的过水通道,所述进水口和所述出水口位于所述水冷盘的下端面,所述供水结构与所述进水口连通,所述排水结构与所述出水口连通。本实用新型提供的晶圆冷却装置进行晶圆冷却时,晶圆表面是被多个水冷盘同时且分部位进行冷却的,各部位冷却效率差异小,冷却效果好。