

一种掩膜板组件、掩膜板及监控蒸发源镀膜均匀性的方法.pdf
Ro****44
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一种掩膜板组件、掩膜板及监控蒸发源镀膜均匀性的方法.pdf
本发明公开了一种掩膜板组件、掩膜板及监控蒸发源镀膜均匀性的方法,涉及TFT基板蒸镀技术领域。本发明的掩模板组件应用于高精细掩膜板,包括:多个遮挡条,用于遮挡所述精细掩模条间缝隙,避免材料蒸镀到TFT基板;多个镂空部,用于形成每一蒸发源对应的膜厚监控区域,对应不同蒸发源设置于所述遮挡条的不同位置上,且不位于所述遮挡条与支撑条重叠部分;所述镂空部的位置均分别映射于TFT基板的非电路区,且每一所述镂空部的面积至少大于光学薄膜量测设备的光斑。本发明实施例通过一种新型的掩膜板组件和掩膜板,实现了在生产过程中对各个蒸
掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板.pdf
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掩膜板制作方法和掩膜板.pdf
本申请提供的掩膜板制作方法和掩膜板,涉及掩膜板制作技术领域。在本申请中,首先,制作具有掩膜图形和堤坝结构的预制图形板,其中,预制图形板包括掩膜区域和非掩膜区域,掩膜图形位于掩膜区域内,堤坝结构位于非掩膜区域内。其次,将堤坝结构所在位置作为焊接位置,并基于焊接位置将预制图形板焊接于边框结构,得到包括预制图形板和边框结构的掩膜板,其中,堤坝结构用于增加将预制图形板焊接于边框结构之后在第一方向上具有的残留应力的受力面积,第一方向为从堤坝结构到边框结构的方向。基于上述方法,可以改善基于现有的掩膜板制作技术制作形成
一种掩膜板以及利用掩膜板构图的方法.pdf
本发明提供了一种掩膜板以及利用掩膜板构图的方法,涉及显示技术领域,解决了现有技术中无法制作大尺寸彩膜基板的问题。一种掩膜板,包括至少一个掩膜单元组,每一个所述掩膜单元组为一排,包括位于一端的一个第一掩膜单元,位于另一端的一个第二掩膜单元,以及位于两端之间的至少一个第三掩膜单元;每一所述掩膜单元设置有掩膜图案;每一所述掩膜单元的掩膜图案在靠近其相邻的掩膜单元的一边,在掩膜图案轮廓下包括多个微小图案和空隙,且相邻的两个掩膜单元的掩膜图案在相互靠近的两边上的微小图案和空隙相吻合。本发明适用于液晶显示装置的制造领
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