一种基于机器视觉的芯片表面缺陷检测装置及其检测方法.pdf

本发明属于视觉设备表面清洁技术领域,具体涉及一种基于机器视觉的芯片表面缺陷检测装置及其检测方法,包括视觉检测设备,应用于芯片检测,所述视觉检测设备用于对芯片表面缺陷进行检测,其中,所述视觉检测设备包括视觉检测组件,包括清洁部,清洁部设置于视觉检测组件的光源发出侧,且视觉检测组件运行时,清洁部在视觉检测组件的检测范围之外;驱动机构,驱动机构设置在清洁部的一侧,用于驱动清洁部运动;供气部,供气部装配在视觉检测设备上,采用上述方案来对芯片缺陷进行检测,能够合理的利用视觉检测组件停机或工作间歇,相较于目前的常规检测方式,其能够保证每次检测的准确性。