一种半导体设备传送腔体的过滤装置.pdf

本实用新型公开了一种半导体设备传送腔体的过滤装置,包括密封壳,所述密封壳的前端凹槽内活动安装有密封盖板,此半导体设备传送腔体的过滤装置,区别于现有技术,利用密封件一、密封件二及其密封件三的设置,使得密封壳与密封盖板之间的连接密封性佳,不易产生泄漏的现象,其次,利用便捷式定位机构,能够方便对密封盖板与密封壳之间进行拆装,继而方便对滤网进行拆换或清理,使用较为方便,提高拆装的效率,极大地提高了生产效率,再者,利用活性炭材质的滤网,能够有效防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染的现象产生,使得预抽真空室环境得到提升,大大增加产品的良率。