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一种用于半导体芯片外观快速检测的装置.pdf
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本实用新型公开了一种用于半导体芯片外观快速检测的装置,包括:用于与检验设备相对固定的底座,以及与所述底座活动配置的载台;所述载台上形成有与所述底座配合的第一凸缘和第二凸缘,所述第一凸缘和第二凸缘能够沿各自的径向方向约束扩晶环,且所述第一凸缘的外径大于所述第二凸缘的外径。本实用新型实施例提供的一种用于半导体芯片外观快速检测的装置,本实用新型实施例提供的一种用于半导体芯片外观快速检测的装置,能够在检测时约束不同规格的扩晶环,以便于使用扩晶环观察检测不同规格的芯片。
2023-04-20
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2023-08-30
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