硬性接触镜的研磨设备及研磨方法.pdf
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硬性接触镜的研磨设备及研磨方法.pdf
本公开描述一种硬性接触镜的研磨设备,其包括旋转体和驱动机构,旋转体包括呈筒状且具有腔室的滚筒、以及设置在腔室内且绕着滚筒的中心轴线进行螺旋延伸的桨叶,在腔室内载有研磨球以及与硬性接触镜基本上等密度的研磨液,驱动机构驱动滚筒绕轴进行旋转。在本公开所涉及的研磨设备中,在滚筒的腔室内设有桨叶,当驱动机构驱动滚筒进行旋转时,腔室内的研磨液在桨叶的推动作用下被搅动,以使研磨球与硬性接触镜之间发生摩擦,从而对硬性接触镜进行研磨。在这种情况下,通过使用具有能够容纳多个硬性接触镜的腔室的滚筒来进行研磨,从而能够同时对多个
研磨设备及研磨方法.pdf
本发明属于研磨设备技术领域,涉及研磨设备及研磨方法。通过转移组件实现棒料在料盘与夹头之间转移,在夹头处于上料卸料位置时进行棒料的上料与卸料,在夹头处于磨削位置时供砂轮组件对棒料进行磨削。摄像头拍摄在上料卸料位置夹头的棒料以获取棒料的角度位置,控制器控制角度调节组件工作以调节夹头的角度位置,实现棒料找正,让砂轮组件对齐于棒料的加工位置以进行磨削。在棒料具有至少两个加工位置时,通过角度调节组件调节夹头的角度位置,让砂轮组件依次加工棒料的不同加工位置。该研磨设备能实现自动上料、找正、卸料,自动化生产,工作效率较
化学机械研磨设备及研磨方法.pdf
本发明涉及化学机械研磨技术领域,具体涉及一种化学机械研磨设备及研磨方法。一种装卸承载台包括:承载部,具有承载平面;研磨部,设置在承载部上,研磨部用于与晶圆接触;液体输出部,设置在承载部的外侧,液体输出部适于将液体喷洒至研磨部上,以对晶圆进行预研磨和/或后研磨及对研磨部进行清洗。本发明在承载部的承载平台上贴一个研磨垫,当晶圆进入装卸承载台后,研磨头载入晶圆并下压至研磨垫之上做预研磨,在研磨后晶圆进入装卸承载台后进行水磨,使得取卸载圆吸的功能与预研磨、水磨、清洗功能统一,使得装卸承载台的功能更加多样化;水磨用
研磨轮、研磨装置及研磨方法.pdf
本发明公开了一种研磨装置,包括至少两个研磨轮,所述至少两个研磨轮的目数不同,所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目;目数不同的所述至少两个研磨轮,用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨;其中,所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽;所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面,且在所述研磨轮轴线所处平面内,所述研磨槽的截面形状为等腰梯形,且所述研磨槽的开口角度为30°~60°。本发明还公开了一种研磨轮和研磨方法。本发明提出的研磨轮、研磨装置及研磨方法,能够达到较好的研磨效果。
利用研磨系统的研磨方法、研磨系统.pdf
本发明公开了利用研磨系统的研磨方法、研磨系统。具体的,本发明提出了一种利用研磨系统的研磨方法,包括:将研磨轮向样品台移动,将研磨槽的槽底和待磨件接触时研磨轮的位置记录为标准位置;将研磨轮向位置检测单元移动,将研磨槽的槽底和位置检测单元的检测中心重合时研磨轮的位置记录为第一参考位置;将研磨轮移动回标准位置处,研磨轮对待磨件进行研磨;以及对研磨轮的位置进行调节:再次将研磨轮向位置检测单元移动,将研磨槽的槽底和位置检测单元的检测中心重合时研磨轮的位置记录为第二参考位置,基于第二参考位置和第一参考位置,对标准位置