异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序.pdf

提高生产设备中的异常调制的原因的确定性能。异常调制原因确定装置具备:工艺数据获取部,从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出,并且与处理对象的管理编号相关联的工艺数据的存储装置中读出工艺数据;异常判定部,针对多个传感器,持续地计算表示工艺数据获取部所读出的工艺数据的调制的程度的异常度;以及原因诊断部,使用因果关系信息,针对多个传感器所输出的、处理对象的管理编号所对应的工艺数据,判断异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准,其中,该因果关系信息定义原因和作为因该原因产生的影响而出现的、多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。