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一种碳化硅单晶生长装料装置.pdf
2023-04-19
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森林****io
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一种碳化硅单晶生长装料装置.pdf
本实用新型公开一种碳化硅单晶生长装料装置,涉及半导体生产设备技术领域,主要结构包括支撑平台、固定机构、加料机构、垂直压料机构、夹紧机构和震动机构;支撑平台用于支撑固定机构,固定机构内底部设置有用于盛放碳化硅原料的石墨坩埚;加料机构设置于固定机构顶部,且加料机构的底部出口延伸至石墨坩埚的上方;垂直压料机构设置于固定机构上且位于石墨坩埚正上方;夹紧机构设置于固定机构侧部,夹紧机构用于固定石墨坩埚;震动机构设置于固定机构底部。通过震动和气动压紧,装料量由之前的2000g?3000g之间的浮动,调整到目前的315
2023-04-19
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一种大尺寸碳化硅单晶生长装置.pdf
本发明公开了一种大尺寸碳化硅单晶生长装置，涉及晶体生长技术领域，包括主体，所述主体的前端设置有加热箱，所述主体的上端设置有第一竖孔，所述加热箱的外部顶端安装有调节机构，所述加热箱的内腔中间设置有埚盖，所述埚盖的下端安装有生长坩埚，所述生长坩埚的外部两侧安装有保温机构，所述生长坩埚的下方设置有空腔，所述空腔的中间安装有升降机构。本发明通过支架安装在加热箱的上端，在使用时，驱动电机，带动顶端的主动轮顺时针转动，从而通过驱动带在带动一侧的从动轮，再由从动轮带动下端的滑杆和竖轴进行转动，从而同步带动下方的生长坩埚
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一种大尺寸碳化硅单晶的PVT生长装置.pdf
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2023-06-15
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本发明公开了一种碳化硅单晶生长坩埚，涉及半导体制备技术领域，包括主体，所述主体的前端设置有外架，所述主体的内腔安装有坩埚，所述坩埚的上端安装有密封机构，所述外架的外部顶端安装有搅拌机构，所述坩埚的内层设置有保温层，所述坩埚的内腔上端设置有晶体，所述晶体的下方安装有融合机构，所述融合机构的下方设置有生长物料。本发明通过支架安装在外架的两端，在使用时，驱动上端的电机，带动顶端的主动轮顺时针转动，从而在通过驱动带带动一侧的从动轮进行转动，带动下端转轴带动贯穿圆孔的搅拌杆转动，使得底端搅拌叶对下方物料进行均匀搅拌
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