具有三合一真空腔室的真空贴合机.pdf
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相关资料
具有三合一真空腔室的真空贴合机.pdf
本实用新型公开了一种具有三合一真空腔室的真空贴合机,属于真空贴合设备领域。该真空腔室包括:底部敞口的上腔室,上腔室连通设置第一真空管路;位于上腔室下方且顶部敞口的下腔室,下腔室连通设置第二真空管路,和位于上腔室和下腔室之间的中腔室,中腔室的顶部和底部均敞口,中腔室内还设置将中腔室分割为上下两部分的网板。将传统的上下腔室变为上中下三个腔室,在中腔室内设置网板,在进行贴合时,产品放置在网板上,膜放置在产品上,此时膜可以将整个腔室分为两部分,同时通过第一真空管路和第二真空管路使腔室的两部分同时真空,最后第一真空
具有基底板的真空腔室.pdf
一种目标加工处理机械(100),譬如光刻机或检测机械,其包括刚性基底板(150)、用于投射一或更多光学或粒子束于目标(130)上的投射柱(101)、支撑该投射柱的支撑框架(102),该支撑框架由基底板支撑并且固定到该基底板、包括用于负载该目标的可移动部分(128)以及由基底板所支撑并且固定到该基底板的固定部分(132、133)的载台、用于检测由该柱所投射的一或更多射束的射束传感器,该射束传感器至少部分地由该基底板支撑并且固定到该基底板、以及密封该支撑框架与该柱的真空腔室(110),用于维持在该腔室的内部空
用于三合一真空腔室的输送机构.pdf
本实用新型公开了一种用于三合一真空腔室的输送机构,属于真空贴合设备领域。该输送机构包括:能将中腔室向上顶起并与下腔室分离的缓冲组件;能将中腔室沿水平方向进行平移的平移组件;和能将平移后的中腔室顶起的升降组件。三合一真空腔室中:下腔室是固定不动的,上腔室通过驱动组件能且仅能沿竖直方向移动,中腔室设置为水平移动的,能方便中腔室的上料和下料;中腔室上设置缓冲组件,贴合结束后,中腔室和下腔室需要分离,在缓冲组件的作用下,缓冲弹簧向上顶起中腔室,使得中腔室与下腔室分离,达到分开的目的,也方便中腔室独立的进行移动。
用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法.pdf
描述一种用于真空腔室(500)的部件(502)。所述部件包括第一表面(232)和设置在所述第一表面中的盲孔(210)。所述部件进一步包括设置在所述第一表面中并且部分地与所述盲孔重叠的排气孔(220)。
多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法.pdf
公开了一种真空排气系统和抽空多个腔室(10)的方法。真空排气系统位于洁净间中,并且包括:多个分支工艺气体通道(14),每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室(10);以及共享工艺通道(16),该共享工艺通道由分支通道的汇合形成,并且被配置成提供共享的流体连通路径,以用于来自所述腔室中的每一个的工艺气体从洁净间流动到洁净间外部的工艺通道。还存在多个分支抽气通道(30),每个分支抽气通道被配置成连接到相应的腔室(10)和共享的抽气通道(32),该共享的抽气通道由分支抽气通道的汇合形成,并被配置成提供流体