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本发明属于高分子新材料技术领域,具体涉及一种有机硅匀泡剂、泡沫硅橡胶及其制备方法和应用。一种有机硅匀泡剂,包括如下结构式:其中,Rf为含氟烃基;0.50,p+q>0,r+g≥0;x≥0,y≥0,R为C1~C10的烷烃基或C1~C10酰基;R1、R2、R3为C1~C8的烷烃基或苯基,R1、R2、R3中至少一个为苯基。本发明的有机硅匀泡剂适用于低粘度有机硅泡沫体系,具有良好的起泡稳定性,得到的泡沫体泡孔均一、闭孔率高、回弹性能和隔热性能优异。