激光平面度检测仪.doc

激光平面度检测仪一、产品特点二、技术参数激光型号OVL激光特性波长:650nm,功率可调0～5mw测量范围5mm测量精度2-5μm工作距离35mm测量原理激光三角法适用范围漫反射表面材质,绝大多数镜面,透明材质测量环境一般照明环境三、测量软件介绍激光测量界面测量准备第一次使用时要进行校正，以后关闭软件之后再次使用要进行激活。2-1、激活点击界面上的，使影像视窗有光点显示。2-2、选择光点校正之前应该选择用左边光点或右边光点参与计算(测量玻璃平面度时会出现两个光点)。2-3、调节调节阈值，来调整图像效果。通过“图像处理调整”调节阈值来实现。如下图调解后（加大阈值）（1）2-4、校正调节Z轴，使光点出现在影像视窗，上下调节Z轴，使光点位于靠近黄色方框右边且在黄框内，校正之前要调节阈值，使其如上图（1）效果。调节好之后点一下界面上的，移动Z轴使光点向左移动，每移动一段距离点一下，直到移动到黄色方框的左边，点击OK。此时会有一条误差曲线出来，如果误差较大修改校正阶数，一般往高阶修改，修改好之后，点击旁边的，查看误差曲线，如果误差可以接收，点击曲线旁边的OK。软件会自动保存校正档，切记。如果误差一直很大，请重新做校正。开始测量显示当前取点的数量点测量，取点工具面测量点面距离面面距离3-1、点测量使用工具，在坐标显示区域会显示当前光点的XYZ数据。3-2、面测量点击工具，然后点击取点工具取点，此时显示取点的数目，取点数量满足需要后，再次点击。此时物件列表有面元素出现。点面距离测量通过面测量已经测得已知面，在物件列表里面选中该面，点鼠标右键，在出现的右键菜单中选择“作为基准面”。然后移动工作台到到目标位置，点击界面上的按钮。如下，3-3、面面距离测量如上方法测量两个面，按下，选择其中一个面作为基准面，本例选择面1为基准面，然后选中面2右键在菜单中选择呼出输入。如下，结果如下，学习功能SPC和OVM一样。每次只用编好程序后，只用轻轻点一下鼠标程序控制系统自动快速测出平面度，且可以显示测量所用的时间。和同行相比激光非接触法测与接触测平面度相比的优点：效率高：用学习功能，手撑大的工件用自学功能在几秒钟内便可准确性测量完毕精度高：不与工件相接便可测量，接触的量仪（LeitzPmm系列接触式三坐标）与工件接触探测引起工件变形（特别是比较溥的工件）直接影响工件的真实值。操作方便：每次只用放工件，轻点一下鼠标程序控制系统自动快速测出平面度西安智泰光电科技有限公司2009-4-16