激光平面度测量仪简介.doc

--
激光平面度检测仪
一、产品特点

二、技术参数
激光型号OVL激光特性波长:650nm,功率可调0～5mw测量范围5mm测量精度2-5μm工作距离35mm测量原理激光三角法适用范围漫反射表面材质,绝大多数镜面,透明材质测量环境一般照明环境三、测量软件介绍
激光测量界面

测量准备
第一次使用时要进行校正，以后关闭软件之后再次使用要进行激活。
2-1、激活
点击界面上的，使影像视窗有光点显示。
2-2、选择光点
校正之前应该选择用左边光点或右边光点参与计算(测量玻璃平面度时会出现两个光点)。
2-3、调节
调节阈值，来调整图像效果。
通过“图像处理调整”调节阈值来实现。如下图
调解后（加大阈值）（1）
2-4、校正
调节Z轴，使光点出现在影像视窗，上下调节Z轴，使光点位于靠近黄色方框右边且在黄框内，校正之前要调节阈值，使其如上图（1）效果。
调节好之后点一下界面上的，移动Z轴使光点向左移动，每移动一段距离点一下，直到移动到黄色方框的左边，点击OK。

此时会有一条误差曲线出来，如果误差较大修改校正阶数，一般往高阶修改，修改好之后，点击旁边的，查看误差曲线，如果误差可以接收，点击曲线旁边的OK。软件会自动保存校正档，切记。如果误差一直很大，请重新做校正。
开始测量

显示当前取点的数量
点测量，取点工具
面测量
点面距离
面面距离
3-1、点测量
使用工具，在坐标显示区域会显示当前光点的XYZ数据。

3-2、面测量
点击工具，然后点击取点工具取点，此时显示取点的数目，取点数量满足需要后，再次点击。此时物件列表有面元素出现。
点面距离测量
通过面测量已经测得已知面，在物件列表里面选中该面，点鼠标右键，在出现的右键菜单中选择“作为基准面”。然后移动工作台到到目标位置，点击界面上的按钮。如下，

3-3、面面距离测量
如上方法测量两个面，按下，选择其中一个面作为基准面，本例选择面1为基准面，然后选中面2右键在菜单中选择呼出输入。如下，

结果如下，

学习功能SPC和OVM一样。
每次只用编好程序后，只用轻轻点一下鼠标程序控制系统自动快速测出平面度，且可以显示测量所用的时间。
和同行相比
激光非接触法测与接触测平面度相比的优点：
效率高：用学习功能，手撑大的工件用自学功能在几秒钟内便可准确性测量完毕
精度高：不与工件相接便可测量，接触的量仪（LeitzPmm系列接触式三坐标）与工件接触探测引起工件变形（特别是比较溥的工件）直接影响工件的真实值。
操作方便：每次只用放工件，轻点一下鼠标程序控制系统自动快速测出平面度

西安智泰光电科技有限公司2009-4-16