真空与真空镀膜技术简介.pptx

真空与真空镀膜技术简介一.真空技术入门真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760(Torr)1标准大气压=1.013x105Pa1Torr=133.3Pa真空区域的划分目前尚无统一规定，常见的划分为：粗真空低真空高真空超高真空极高真空二.真空获得—真空泵真空泵的主要参数几种常用真空泵的工作原理1.旋片机械泵2.油扩散泵三.真空的测量—真空计1.绝对真空计2.2热阴极电离真空计原理：电子与气体分子碰撞引起分子电离，形成电子和正离，电子最终被加速极收集，正离子被收集极接收形成离子流：I+=kIep=cp其中，k称为电离计的灵敏度，是单位电子电流、单位压强下的离子流。测量范围：1.33×10-1～1.33×10-5Pa测量下限：高速电子打到加速极G→G产生软x射线→软x射线射向收集极c→收集极c产生光电发射→产生电子流Ix→Ix与I+方向相反，与压强无关。理论解释：当p较高时，kx/p<<k，此时当p很低时，kx/p>>k，此时与压强无关四.真空镀膜蒸发系统膜厚的计算：对于平行平面ds，φ=θ，则上式为由可得在点源的正上方区域(δ=0)时，真空技术的应用电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。真空泵的分类极限压强(极限真空)最高工作压强工作压强范围（）泵能正常工作的压强范围几种常用真空泵的工作压强范围旋片机械泵吸附泵扩散泵涡轮分子泵溅射离子泵低温泵旋片式机械泵3.涡轮分子泵2.相对真空计电离计线路图2.3B—A真空计(超高真空熱阴极电离计)真空系统(DM—300镀膜机)蒸发源设蒸发源为点蒸发源，单位时间内通过任何方向一立体角dω的质量为：蒸发物质到达任一方向面积元ds质量为设蒸发物的密度为ρ，单位时间淀积在ds上的膜厚为t，则比较以上两式可得薄膜厚度的测量谢谢！