真空沉积炉项目可行性研究报告.pdf
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真空沉积炉项目可行性研究报告真空沉积炉项目可行性研究报告xxx公司真空沉积炉项目可行性研究报告真空沉积炉项目可行性研究报告目录第一章概况第二章背景及必要性第三章市场调研分析第四章产品规划及建设规模第五章选址评价第六章项目工程设计说明第七章工艺原则第八章环境影响概况第九章安全管理第十章项目风险情况第十一章节能说明第十二章进度计划第十三章投资计划方案第十四章项目经济评价第十五章招标方案第十六章总结及建议真空沉积炉项目可行性研究报告第一章概况一、项目承办单位基本情况(一)公司名称xxx公司(二)公司简介本公司秉
一种真空感应化学气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种真空感应化学气相沉积炉,涉及化工设备技术领域,包括炉体、真空系统和充气系统,所述炉体内设置有加热室,所述加热室外侧设置有感应加热装置,所述加热室内设置有沉积室,所述沉积室与所述充气系统连通,所述加热室与所述炉体之间为真空室,所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通。本发明将真空室和沉积室设置成两个相互独立的结构,真空室和沉积室不相通,沉积气体仅通入沉积室,不仅减少了沉积气体的浪费,还便于控制沉积室内沉积气体的压力和密度;真空系统分别对真空室和沉积室进行抽真空,沉积室内排出的污染
一种带上料器真空气相沉积炉.pdf
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真空罐项目可行性研究报告.docx
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一种粉体专用真空气相沉积炉.pdf
本发明提出了一种粉体专用真空气相沉积炉,所述真空气相沉积炉包括加热炉体、冷却炉体、称重传感器、真空通道、上电极、下电极、进料管、测温部件;所述加热炉体内设置有搅拌轴和导流板。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。