溅射参数对单层AZO和多层AZOCuAZO薄膜性能的影响研究.doc

PAGE\*MERGEFORMAT8吉首大学硕士学位论文溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究陈林喜二0一二年五月分类号密级公开UDC单位代码吉首大学硕士学位论文溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究PropertyResearchAZOandAZO/Cu/AZOThinFilmsPreparedbyRadio-frequencyMagnetronSputtering研究生姓名陈林喜指导教师唐世洪教授学科专业凝聚态物理专业研究方向薄膜器件研究提交论文日期2012年4月10日论文答辩日期2012年月日答辩委员会主席论文评阅人二0一二年五月独创性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得吉首大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名：时间：年月日关于论文使用授权的说明本人完全了解吉首大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同意吉首大学可以用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容。(保密的学位论文在解密后应遵守此协议)研究生签名：时间：年月日导师签名：时间：年月日目录目录TOC\o"1-3"\h\z\uHYPERLINK\l"_Toc321985854"摘要PAGEREF_Toc321985854\h6HYPERLINK\l"_Toc321985855"AbstractPAGEREF_Toc321985855\h7HYPERLINK\l"_Toc321985856"第一章绪论PAGEREF_Toc321985856\h1HYPERLINK\l"_Toc321985857"1.1引言PAGEREF_Toc321985857\h1HYPERLINK\l"_Toc321985858"1.2氧化锌的基本性质PAGEREF_Toc321985858\h1HYPERLINK\l"_Toc321985859"1.2.1ZnO的晶体结构PAGEREF_Toc321985859\h2HYPERLINK\l"_Toc321985860"1.2.2ZnO的电学性质和光学特性PAGEREF_Toc321985860\h3HYPERLINK\l"_Toc321985861"1.2.3ZnO的能带结构PAGEREF_Toc321985861\h3HYPERLINK\l"_Toc321985862"1.3ZnO的应用PAGEREF_Toc321985862\h3HYPERLINK\l"_Toc321985863"1.3.1透明导电薄膜PAGEREF_Toc321985863\h3HYPERLINK\l"_Toc321985864"1.3.2发光器件PAGEREF_Toc321985864\h3HYPERLINK\l"_Toc321985865"1.3.3紫外探测管PAGEREF_Toc321985865\h3