溅射参数对单层AZO和多层AZOCuAZO薄膜性能的影响研究.doc

8吉首大学硕士学位论文溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究陈林喜二0一二年五月分类号密级公开UDC单位代码吉首大学硕士学位论文溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究PropertyResearchAZOandAZO/Cu/AZOThinFilmsPreparedbyRadio-frequencyMagnetronSputtering研究生姓名陈林喜指导教师唐世洪教授学科专业凝聚态物理专业研究方向薄膜器件研究提交论文日期2012年4月10日论文答辩日期2012年月日答辩委员会主席论文评阅人二0一二年五月独创性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知除了文中特别加以标注和致谢的地方外论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果也不包含为获得吉首大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名：时间：年月日关于论文使用授权的说明本人完全了解吉首大学有关保留、使用学位论文的规定即：学校有权保留送交论文的复印件和磁盘允许论文被查阅和借阅可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同意吉首大学可以用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容。(保密的学位论文在解密后应遵守此协议)研究生签名：时间：年月日导师签名：时间：年月日目录目录摘要6Abstract7第一章绪论11.1引言11.2氧化锌的基本性质11.2.1ZnO的晶体结构21.2.2ZnO的电学性质和光学特性31.2.3ZnO的能带结构31.3ZnO的应用31.3.1透明导电薄膜31.3.2发光器件31.3.3紫外探测管31.4AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的研究41.4.1TCO薄膜的种类41.4.2AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的用途41.5本文主要研究目的和内容4第二章透明导电薄膜的制备和表征手段52.1主要制备技术52.1.1磁控溅射技术52.1.2真空蒸发技术72.1.3PLD技术82.1.4溶胶凝胶技术82.2主要表征方法92.2.1表面轮廓仪92.2.2分光光度计92.2.3X射线衍射仪102.2.4四探针方阻仪102.2.5霍尔测试仪11第三章单层AZO薄膜测试结果与讨论123.1引言123.2实验参数123.3实验参数对单层AZO薄膜性能的影响133.3.1衬底温度对单层AZO薄膜薄膜性能的影响133.3.2偏压对AZO薄膜性能的影响163.3.3后续退火对单层AZO薄膜性能的影响193.2本章小结19第四章AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜测试结果与讨论214.1引言214.2实验参数214.3溅射功率对AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜光电性能的影响224.3.1溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的光学性能分析224.3.2溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的结晶性能的影响234.3.3溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的表面形貌影响254.3.4溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的电学性能的影响254.4溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜光电性能的影响274.4.1溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜光学性能的影响274.4.2溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜结晶质量的影响284.4.3溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜电学性能的影响304.5本章小结31第五章结论32结束语34致谢35作者在学术期间取得的学术成果36参考文献37摘要摘要近年来ZnO薄膜材料在光电器件领域获得了广泛的应用。ZnO材料作为一种禁带宽度达到3.3eV的半导体材料具有晶格结构、光学和电学方面的诸多优点。并且相对于ITO薄膜ZnO