红光OLED器件有机薄膜工艺研究.doc

分类号（红光OLED器件有机薄膜工艺研究）南晶彪西安理工大学UDC密级学号0908090563硕士学位论文红光OLED器件有机薄膜工艺研究学科门类：工学学科名称：微电子学与固体电子学指导教师：申请日期：西安理工大学硕士学位论文摘要PAGE\*MERGEFORMATPAGE\*MERGEFORMATI论文题目：红光OLED器件有机薄膜工艺研究学科名称：微电子学与固体电子学研究生：签名：指导教师：签名：摘要有机发光二极管（OLED）具有超轻、超薄、高亮度、低功耗、可弯曲、清晰度高、可视角度大、抗震性能好、响应速度快、成本低、像素本身发光等优点，OLED的显著优点使其成为继LCD出现的又一显示行业的耀眼明星。随着国外OLED快速发展与影响，国内部分研究所、高校以及显示器行业的公司都正在致力于OLED的研究。红光OLED被认为是目前在有机红、绿、蓝三基色显示中最薄弱的一环，因为红色发光的跃迁都是能隙较小的跃迁，很难与载流子传输层的能量匹配，因而不能有效地使电子和空穴在发光区复合。课题主要对红光OLED进行实验研究，预期得到发光性能良好的红光OLED结构，为以后此类研究提供一定的参考。实验主要使用科特真空机电设备厂生产的高真空有机／金属热蒸发（OLED）镀膜设备，采用真空蒸镀的方法，在ITO玻璃上依次蒸镀空穴注入材料2-TNATA、空穴传输材料NPB、发光层材料AlQ:DCJTB、电子传输材料AlQ、电子注入材料LiF以及阴极材料Al，完成绿光和红光器件的制备，通过实验确定各个功能层的工艺条件，并制作绿光和红光OLED器件，研究各功能层参数对器件发光性能的影响。实验研究内容主要包括：(1)红光OLED器件基本结构设计；(2)器件各功能层材料蒸镀工艺条件的实验研究；(3)空穴注入层2-TNATA、电子注入层LiF以及发光层AlQ厚度对绿光OLED器件发光性能的影响；(4)发光层掺杂DCJTB浓度对红光OLED器件发光性能的影响。最终，经过对所制作器件的性能测试与原理分析得到红光OLED器件的优化结构为：ITO/2-TNATA(20nm)/NPB(30nm)/AlQ:2.5%DCJTB(50nm)/AlQ(30nm)/LiF(0.8nm)/Al(100nm)关键词：红光OLED；载流子注入层；发光层；工艺研究AbstractPAGE\*MERGEFORMATPAGE\*MERGEFORMATITitle:ORGANICTHIN-FILMTECHNOLOGYOFREDOLEDDEVICESMajor：MicroelectronicsandSolidElectronicsName：JingbiaoNanSignature:Supervisor：Associateprof.TaoAnSignature:AbstractOrganiclight-emittingdiode(OLED)withlightweight,ultra-thin,highbrightness,viewingangle,responsespeed,high-definition,lowpowerconsumption,excellentseismicperformance,flexible,lowmanufacturingcost,pixelluminous,etc.OLED'sadvantagesmakeittobeabrightstar,followingLCDappearsinthedisplayindustry.WiththerapiddevelopmentandimpactofOLEDabroad,partoftheinstitutes,universities,thedisplayindustries