红光OLED器件有机薄膜工艺研究.doc

分类号（红光OLED器件有机薄膜工艺研究）南晶彪西安理工大学UDC密级学号0908090563硕士学位论文红光OLED器件有机薄膜工艺研究学科门类：工学学科名称：微电子学与固体电子学指导教师：申请日期：西安理工大学硕士学位论文摘要I论文题目：红光OLED器件有机薄膜工艺研究学科名称：微电子学与固体电子学研究生：签名：指导教师：签名：摘要有机发光二极管（OLED）具有超轻、超薄、高亮度、低功耗、可弯曲、清晰度高、可视角度大、抗震性能好、响应速度快、成本低、像素本身发光等优点OLED的显著优点使其成为继LCD出现的又一显示行业的耀眼明星。随着国外OLED快速发展与影响国内部分研究所、高校以及显示器行业的公司都正在致力于OLED的研究。红光OLED被认为是目前在有机红、绿、蓝三基色显示中最薄弱的一环因为红色发光的跃迁都是能隙较小的跃迁很难与载流子传输层的能量匹配因而不能有效地使电子和空穴在发光区复合。课题主要对红光OLED进行实验研究预期得到发光性能良好的红光OLED结构为以后此类研究提供一定的参考。实验主要使用科特真空机电设备厂生产的高真空有机／金属热蒸发（OLED）镀膜设备采用真空蒸镀的方法在ITO玻璃上依次蒸镀空穴注入材料2-TNATA、空穴传输材料NPB、发光层材料AlQ:DCJTB、电子传输材料AlQ、电子注入材料LiF以及阴极材料Al完成绿光和红光器件的制备通过实验确定各个功能层的工艺条件并制作绿光和红光OLED器件研究各功能层参数对器件发光性能的影响。实验研究内容主要包括：(1)红光OLED器件基本结构设计；(2)器件各功能层材料蒸镀工艺条件的实验研究；(3)空穴注入层2-TNATA、电子注入层LiF以及发光层AlQ厚度对绿光OLED器件发光性能的影响；(4)发光层掺杂DCJTB浓度对红光OLED器件发光性能的影响。最终经过对所制作器件的性能测试与原理分析得到红光OLED器件的优化结构为：ITO/2-TNATA(20nm)/NPB(30nm)/AlQ:2.5%DCJTB(50nm)/AlQ(30nm)/LiF(0.8nm)/Al(100nm)关键词：红光OLED；载流子注入层；发光层；工艺研究AbstractITitle:ORGANICTHIN-FILMTECHNOLOGYOFREDOLEDDEVICESMajor：MicroelectronicsandSolidElectronicsName：JingbiaoNanSignature:Supervisor：Associateprof.TaoAnSignature:AbstractOrganiclight-emittingdiode(OLED)withlightweightultra-thinhighbrightnessviewingangleresponsespeedhigh-definitionlowpowerconsumptionexcellentseismicperformanceflexiblelowmanufacturingcostpixelluminousetc.OLED'sadvantagesmakeittobeabrightstarfollowingLCDappearsinthedisplayindustry.WiththerapiddevelopmentandimpactofOLEDabroadpartoftheinstitutesuniversitiesthedisplayindustriesandcompaniesarecommittedtoOLEDresearchinChina.Becauseredlight-emittingtransitionsareabletomatchthesmallergaptransitionitisdifficulttomatchtheenergyofcarriertransport