扫描电子显微镜.docx

编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第页共NUMPAGES4页第PAGE\*MERGEFORMAT4页共NUMPAGES\*MERGEFORMAT4页2009-07招标设备清单序号设备名称数量技术参数备注1扫描电子显微镜1见附件进口2透射电子显微镜1见附件进口3冷冻超薄切片机1见附件进口附件：1、扫描电子显微镜（进口）场发射扫描电子显微镜主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等附件，可同时进行微区的成分分析，应具有配备X射线能谱仪系统等的相应安装接口。技术参数1、分辨率：二次电子图像：1.0nm(15kV),1.4nm(1kV)背散射电子像：3.0nm(15kV)2、加速电压:0.1-30KV连续可调3、束流范围：1pA～2nA连续可调4、放大倍率25X–1,000,000X；5、真空度：电子枪室高真空10-7Pa样品室真空10-4Pa6、泵系统：磁悬浮分子泵、离子泵和机械泵7、电子光学系统电子枪：高稳定性场发射电子源，能自动合轴调整聚光镜：电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜控制束斑尺寸物镜光阑：X/Y方向精细可调对中电图像位移：±5µm，可通过控制电子束移动实现8、样品室和样品台样品台：5轴马达驱动全对中样品台,示意图在监视器上显示样品台尺寸可装直径不小于150mm的样品行程：X＝70mm,Y=50mm,Z=1.5-25mm倾斜-5°-+70°旋转360°样品更换：快速气锁更换样品(直径最大150mm)9、附件接口：样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器。10、探测器及成像系统高位和低位二次电子探测器：二次电子像背散射电子探测器：纯成份像和形貌像成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像二次电子和背散射电子混合信号图像，且其相对含量连续可调11、扫描电镜计算机系统操作系统Windows®XPProfessional显示器19英寸LCD12、自动离子溅射仪（进口）1套工作压力：好于20Pa溅射电流：10,20,30,40mA溅射靶：白金样品台：直径64mm真空室：120mm(直径)x100mm(高)13、配件拉伸台一套其它需要的附件、备件、特殊工具和消耗品提供二年以上备品备件，提供备用场发射电子枪一支2、透射电子显微镜（进口）本系统主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构、成分分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成1、电子枪：六硼化镧(LaB6)灯丝2、分辨率：点分辨率：0.19nm；线分辨率：0.14nm3、加速电压:200kV4、物镜电流稳定度：1ppm/min(peaktopeak)5、物镜焦距：1.9mm球差系数：0.5mm色差系数：1.1mm最小聚焦步长：1.0nm6、最小束斑尺寸TEM模式：20nm以下EDS模式/纳米束电子衍射(NBD)模式/会聚束电子衍射(CBD)模式：0.5nm以下放大倍率：MAG模式：x2,000-x1,500,000；LOWMAG模式：x50-x6,000SAMAG模式：x8,000–x800,000；7、样品更换：气锁方式，自动2段抽气样品防污染液氮冷阱：标准样品台重复精度：优于2μm8、EDS分析几何条件固体角：0.13str.以上（30mm2活区面积检测器）取出角：25°以上（30mm2活区面积检测器），9、真空系统：高真空泵：（电子枪和样品室）离子泵，150l/s，一个（观察室和照相室）扩散泵，420l/s，一个低真空泵：机械泵，100l/min，一个真空度：优于2×10-5Pa10、图像观察窗大荧光屏：直径160mm以上小荧光屏：标准双眼目镜：标准10、X射线能谱分析仪(EDS)（进口）该设备作为分析电子显微镜的主要附件之一，通过测量在电子束的照射下产生的X射线的能量来确定材料的成份，特别适于测量重元素的成份，对轻元素也可进行定性分析。是材料科学研究中不可缺乏的研究手段之一探测器：Si(Li)半导体探测器能量分辨率：优于138eV有效检测面积：30mm2以上元素分析范围：B5-U92液氮罐容量：9升探测器制冷方式：液氮冷却应用软件：定性分析、定量分析、彩色面分析等11、CCD相机技术要求CCD相机是用来