扫描电子显微镜.ppt

第三章扫描电子显微镜第三章扫描电子显微镜1.扫描电镜的优点OpticalMicroscopeVSSEM2.电子束与固体样品作用时产生的信号2.1弹性散射和非弹性散射SEM中的三种主要信号SEM中的三种主要信号其他信号2.3各种信号的深度和区域大小3.扫描电镜的工作原理4.扫描电子显微镜的构造电子光学系统电子枪信号收集及显示系统真空系统和电源系统5.扫描电镜衬度像二次电子产额δ与二次电子束与试样表面法向夹角有关，δ∝1/cosθ。
因为随着θ角增大，入射电子束作用体积更靠近表面层，作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多；其次随θ角的增加，总轨迹增长，引起价电子电离的机会增多。（a）陶瓷烧结体的表面图像（b）多孔硅的剖面图5.2背散射电子像两种图像的对比对有些既要进行形貌观察又要进行成分分析的样品，将左右两个检测器各自得到的电信号进行电路上的加减处理，便能得到单一信息。
对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的信号，其大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的信号绝对值相同，其极性恰恰相反。
将检测器得到的信号相加，能得到反映样品原子序数的信息；相减能得到形貌信息。背散射电子探头采集的成分像（a）和形貌像（b）6.扫描电子显微镜的主要性能6.1分辨率6.2景深7.样品制备8.扫描电镜应用实例1018号钢在不同温度下的断口形貌ZnO纳米线的二次电子图像（a）芯片导线的表面形貌图，（b）CCD相机的光电二极管剖面图。本章重点