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化学气相沉积.ppt
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胜利****实阿
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2024-01-29
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抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法.pdf
本发明提供抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法。一种抽气装置，用于抽取低压化学气相沉积设备的炉管内的气体，其特征在于，所述抽气装置包括：并联的第一阀、第二阀和第三阀，其通过导管与炉管的排气口相连；抽气泵，其通过导管与第一至第三阀相连，其中第一阀、第二阀和第三阀分别与抽气泵一起工作用于降低炉管内气压且降低炉管内气压的速率依次递减。利用本发明可以改善现有的低压化学气相沉积设备内颗粒污染较为严重的问题。
2023-06-19
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化学气相沉积炉.pdf
本发明提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此，能够避免在反复拆装的过
2023-06-19
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化学气相沉积炉.pdf
本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效
2023-06-20
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化学气相沉积炉.pdf
本发明涉及一种化学气相沉积炉，包括用于进行化学气象沉积的反应腔以及与所述反应腔连通的气体输出管道，所述化学气相沉积炉还包括气压自动控制装置，所述气压自动控制装置的一部分设置于所述气体输出管道中，所述气压自动控制装置不受外界大气压影响自动调节所述反应腔和所述气体输出管道中的气压来实现反应腔和所述气体输出管道内气压稳定。本发明的化学气相沉积炉能够提高化学气相沉积炉内不同位置的晶圆表面薄膜的厚度和薄膜均匀性，以及各批次之间的晶圆表面薄膜的厚度的均匀性。
2023-06-20
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