《磷扩散培训》0.doc
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磷扩散-PPT.ppt
磷扩散PN结——太阳电池的心脏PN结的制造扩散装置示意图PN结的形成过程影响扩散的因素影响扩散的因素太阳电池磷扩散方法大家学习辛苦了,还是要坚持POCl3简介POCl3磷扩散原理由上面反应式可以看出,POCl3热分解时,如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如下:生成的P2O5又进一步与硅作用,生成SiO2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使
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磷扩散PN结的制造扩散装置示意图PN结的形成过程影响扩散的因素影响扩散的因素太阳电池磷扩散方法POCl3简介POCl3磷扩散原理由上面反应式可以看出,POCl3热分解时,如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如下:生成的P2O5又进一步与硅作用,生成SiO2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀
片状扩散源在硅的磷扩散中的应用.docx
片状扩散源在硅的磷扩散中的应用标题:片状扩散源在硅的磷扩散中的应用摘要:磷扩散是在硅晶片加工中重要的工艺步骤之一。传统的扩散方法包括气相扩散和液相扩散,但这些方法存在着一些限制,如扩散源的纯度要求、扩散温度的限制和扩散速度的低下。近年来,片状扩散源作为一种新的扩散工具被引入,被广泛应用于硅的磷扩散中。本文将探讨片状扩散源在硅的磷扩散中的应用,包括其优势、扩散机理和工艺参数的选择等。1.引言磷扩散被广泛应用于制造半导体器件,特别是硅晶片。磷扩散可以改变硅晶片的电学性质,从而实现器件的性能优化。然而,传统的扩
磷扩散炉抽风管.pdf
本发明公开了一种磷扩散炉抽风管,该抽风管为U形管,抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口,抽风管另一端设有高于进风口的出风口,该出风口开口向上并连接抽风机,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴,所述管道本体底端开口并连接一密封水箱。本发明采用U形抽风管,且抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,因而抽风管耐腐蚀,同时U形抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴,可以利用雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气,防止熔化抽风管的特氟龙涂层,同时使三氯氧磷在