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磷扩散PN结——太阳电池的心脏PN结的制造扩散装置示意图PN结的形成过程影响扩散的因素影响扩散的因素太阳电池磷扩散方法大家学习辛苦了,还是要坚持POCl3简介POCl3磷扩散原理由上面反应式可以看出,POCl3热分解时,如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如下: 生成的P2O5又进一步与硅作用,生成SiO2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。在有氧气的存在时,POCl3热分解的反应式为: POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面,P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子,并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散。POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。磷扩散工艺过程清洗饱和装片送片回温扩散关源,退舟卸片扩散层薄层电阻及其测量方块电阻的定义扩散层薄层电阻的测试磷扩散注意事项(一)——工艺卫生磷扩散注意事项(二)——安全操作