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Plasma工作原理介绍工作原理检验方法-----PullandSheartest检验方法-----PullandSheartest检验方法-----PullandSheartestPlasma机构原理图Plasma产生的条件O2PlasmaArPlasmaPlasmaProcess:PlasmaParameter(Pc32系列)表面活化目前使用的Ar的成份Ar的纯度与清洗的效果NormalizedEnergyDistribution实际应用实际应用Plasma参数﹕0.2torrpressure;75wattspower;113lpmvacuum.未经Plasma结果结论:目前HYBIRD所使用PLASMA: