一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102749705102749705B(45)授权公告日2015.02.04(21)申请号201210264253.0CN1495561A,2004.05.12,全文.CN101311771A,2008.11.26,全文.(22)申请日2012.07.27EP1519213A1,2005.03.30,全文.(73)专利权人无锡迈福光学科技有限公司CN101666912A,2010.03.10,全文.地址214200江苏省无锡市宜兴市宜兴经济CN101165536A,2008.04.23,全文.开发区锦程大道11号宜兴创业园审查员杜乃锋(72)发明人陆惠宗(74)专利代理机构上海金盛协力知识产权代理有限公司31242代理人王松(51)Int.Cl.G02B26/10(2006.01)G01N21/88(2006.01)(56)对比文件US2005/0185239A1,2005.08.25,全文.CN1322307A,2001.11.14,全文.权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件(57)摘要本发明揭示了一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件，所述扫描镜组件包括一电机转子，在该电机转子设有一转轴，电机转子以该转轴为轴心转动；所述转轴设有一凹槽，在凹槽内设有光学镜面；所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上。同时，整个转轴的质心在其旋转轴线上。本发明提出的高速扫描装置及其高速扫描镜组件，通过在转轴上直接加工出相对较大口径的光学镜面，并该光学镜面在旋转轴线上，同时，整个转轴的质心在其旋转轴线上。可有效保证在扫描过程中扫描镜组件的在镜面上的转子轴线始终在透镜的背焦面上。利用本发明可使扫描频率与转子的旋转频率一致，大大提高扫描频率，可达到1000Hz甚至更高。CN102749705BCN1027495BCN102749705B权利要求书1/1页1.一种高速扫描镜组件，其特征在于，所述扫描镜组件包括一电机，该电机的电机转子设有一转轴，电机转子以该转轴的旋转轴线为轴心转动；所述转轴设有一凹槽，在凹槽内设有光学镜面；所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上；所述转轴的结构为一圆柱切除圆柱一侧的凹槽，另一侧设置一个或多个平衡槽，同时转轴上还设有一个或多个平衡螺纹孔，用以设置平衡用螺丝，并通过调节螺丝在螺孔中的位置，来细微调节整个转轴的质心位置；设置所述平衡槽、平衡螺纹孔，使得整个转轴的质心在转轴的旋转轴线上。2.一种高速扫描镜组件，其特征在于，所述扫描镜组件包括一电机转子，在该电机转子设有一转轴，电机转子以该转轴为轴心转动；所述转轴设有一凹槽，在凹槽内设有光学镜面；所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上；整个转轴的质心在其旋转轴线上；所述转轴的结构为一柱体切除柱体一侧的凹槽，另一侧设置一个或多个平衡槽。3.根据权利要求2所述的高速扫描镜组件，其特征在于：所述转轴上设有一个或多个平衡孔，用以设置能置于平衡孔中的平衡用物体，通过调节平衡用物体在平衡孔中的位置，来细微调节整个转轴的质心位置，以确保整个转轴的质心在其旋转轴线上。4.根据权利要求2所述的高速扫描镜组件，其特征在于：所述光学镜面是通过直接加工的方法在转轴上制得，或者是将一个光学镜面设置在转轴的凹槽内。5.一种高速扫描装置，其特征在于，所述扫描装置包括扫描镜组件、扫描透镜；所述扫描镜组件包括一电机转子，该电机转子设有一转轴，电机转子以该转轴为轴心转动；所述转轴设有一凹槽，在凹槽内设有光学镜面；所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上，确保在转轴旋转的过程中，所述光学镜面上的旋转轴线始终置于扫描透镜的背焦面上，所述光学镜面转动使激光束以转轴的旋转轴线与激光束相交点为中心作弧形扫描。6.根据权利要求5所述的高速扫描装置，其特征在于：整个转轴的质心在其旋转轴线上。7.根据权利要求6所述的高速扫描装置，其特征在于：所述转轴的结构为一柱体切除柱体一侧的凹槽，另一侧设置一个或多个平衡槽。8.根据权利要求6或7所述的高速扫描装置，其特征在于：所述转轴上设有一个或多个平衡孔，用以设置能置于平衡孔中的平衡用物体，通过调节平衡用物体在平衡孔中的位置，来细微调节整个转轴的质心位置，以确保整个转轴的质心在其旋转轴线上。2CN102749705B说明书1/4页一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件技术领域[0001]本发明属于光学技术领域，涉及一种扫描装置，尤其涉及一种高速扫描装置；同时，本发明还涉及一种高速扫描镜组件。背景技术[0002]光学平面表面的微缺陷快速检测一直是检测领域中的一个较具挑战性的问题.特别是当被检测的光学平面面积较大(300mmX300mm)，并且需检测到的最小缺