超高速光学扫描装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115933165A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211700211.7(22)申请日2022.12.28(71)申请人东莞市迈创机电科技有限公司地址523000广东省东莞市万江街道莫屋新丰西三路3号(72)发明人吕继强(74)专利代理机构东莞市尚标联合知识产权代理事务所(普通合伙)44822专利代理师叶伟良(51)Int.Cl.G02B26/10(2006.01)G02B26/08(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称超高速光学扫描装置(57)摘要本发明公开了一种超高速光学扫描装置，包括X轴反射装置和Y轴反射装置，X轴反射装置和Y轴反射装置均包括单晶体和壳体，单晶体的正极端通过绝缘连接件与壳体固定连接，单晶体的负极端与壳体固定连接，单晶体的正极端与高频电源的高频正极相连接，单晶体的负极端与高频电源的高频负极相连接，单晶体的表面设有能够反射光线的形变膜体。本发明的单晶体的表面上的形变膜体在单晶体通入高频电流后会发生形变，从而通过形变来改变照射在其表面的光线的反射方向，与传统的电机驱动振镜摆动来改变照射在其表面的光线路径的方式相比具有无需设置电机、结构更加简单、没有延迟以及可实现超高速的优点。CN115933165ACN115933165A权利要求书1/1页1.一种超高速光学扫描装置，其特征在于：包括X轴反射装置(7)和Y轴反射装置(8)，所述X轴反射装置(7)与Y轴反射装置(8)能够互相配合反射光线，所述X轴反射装置(7)和Y轴反射装置(8)均包括单晶体(1)和壳体(2)，所述单晶体(1)的正极端通过绝缘连接件(3)与壳体(2)固定连接并与壳体(2)相隔离，所述单晶体(1)的负极端与壳体(2)固定连接并与壳体(2)相接触，所述单晶体(1)的正极端与高频电源(4)的高频正极相连接，所述单晶体(1)的负极端与高频电源(4)的高频负极相连接，所述单晶体(1)的表面设有能够反射光线的形变膜体(5)，在单晶体(1)通入高频电流后，所述单晶体(1)表面上的形变膜体(5)能够发生形变，从而通过形变来改变照射在其表面的光线的反射方向。2.根据权利要求1所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述形变膜体(5)包括介质膜层(51)、沉积膜层(52)和增透膜层(53)，所述沉积膜层(52)连接于介质膜层(51)表面，所述增透膜层(53)连接于沉积膜层(52)的表面。3.根据权利要求2所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述介质膜层(51)设置为镀铬介质膜。4.根据权利要求2所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述沉积膜层(52)设置为镀金沉积膜。5.根据权利要求2所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述增透膜层(53)设置为镀硫化锌增透膜。6.根据权利要求1所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述X轴反射装置(7)和Y轴反射装置(8)均还包括用于单晶体降温的冷却装置(6)，所述壳体(2)与冷却装置(6)相连接。7.根据权利要求6所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述冷却装置(6)设置为水冷式冷却装置，所述壳体(2)内穿设有水路，所述水路的进水端贯穿壳体(2)的表面从而形成进水口(21)，所述水路的出水端贯穿壳体(2)的表面从而形成出水口(22)，所述水冷式冷却装置的出水部位与壳体(2)的进水口(21)相对接，所述水冷式冷却装置的回水部位与壳体(2)的出水口(22)相对接。8.根据权利要求1所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述绝缘连接件(3)由云母材料制成。9.根据权利要求1所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述单晶体(1)的正极端连接有石墨连接件(11)，所述高频电源(4)的高频正极通过石墨连接件(11)与单晶体(1)的正极端相连接。2CN115933165A说明书1/3页超高速光学扫描装置技术领域[0001]本发明涉及光学设备的技术领域，更具体地说，是涉及一种超高速光学扫描装置。背景技术[0002]现有的激光设备存在以下不足：一般通过X轴电机和Y轴电机分别带动X轴振镜、Y轴振镜摆动，以改变激光的路径，但是X轴振镜、Y轴振镜是平面镜，X轴电机和Y轴电机需要来回正转和反转，从而带动振镜实现往复摆动，但是电机的正反转切换具有一定的延迟，导致振镜的正反来回摆动需要一段时间，扫描速度受电机往复运动的频率和速度限制，这样会降低激光设备的工作效率发明内容[0003]本发明的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种可通过膜体形变改变照射在其表面的光线的路径、没有延迟、可实现超高速的超高速光学扫描装置。[0004]为实现上述目的，本发明提供了一种超高速光学扫描装置，包括X轴反射装置和Y轴反射装置，所述X轴反射装置和Y轴反射