清洁系统及其控制方法.pdf
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相关资料
清洁系统及其控制方法.pdf
一种清洁系统,包括至少一标示体及一清洁机器人。清洁机器人检测并记录标示体的位置,用以产生一记录结果。清洁机器人具有一锁定功能。当锁定功能被启动时,清洁机器人便根据记录结果,进行清洁动作,其中就算移除标示体,清洁机器人仍可根据标示体未被移除前的位置而进行清洁动作。
自动清洁系统、基站及其控制方法.pdf
本发明涉及一种自动清洁系统,所述自动清洁系统包括清洁机器人和基站,所述清洁机器人包括主体和擦拭板;擦拭板用于供擦拭件可替换地抵附形成擦拭面,以当所述清洁机器人在工作表面上移动时擦拭工作表面;所述基站包括:擦拭件安装位,供擦拭板安装擦拭件;所述自动清洁系统还包括:操作模块,被配置为作用于所述擦拭板和/或擦拭件,使得所述擦拭件沿预设方向安装于所述擦拭板;其中所述预设方向为垂直于所述擦拭面的方向。
刻蚀设备腔体清洁方法及其清洁系统.pdf
本发明公开了一种用于金属硬质掩模刻蚀工艺的泛林腔体,清除半导体生产工艺中的刻蚀设备腔体内残留杂质的刻蚀设备腔体清洁方法,包括:采用沉积气体在刻蚀设备腔体内进行淀积,使刻蚀设备腔体内表面形成清洁薄膜,并使该清洁薄膜包裹黏附刻蚀设备腔体内表面上的待清洁杂质;采用清洁气体清除所述清洁薄膜。本发明还公开了一种用于清除半导体生产工艺中的刻蚀设备腔体内残留杂质的刻蚀设备腔体清洁系统。本发明的清洁方法和清洁系统能清除刻蚀设备腔体内残留杂质(聚合物或污染颗粒),能提高刻蚀设备腔体高清洁效率。
一种智能水体清洁系统及其控制方法.pdf
本发明公开了一种智能水体清洁系统及其控制方法,包括水体清洁装置、无线网络设备和云平台;水体清洁装置包括控制器、过滤单元、电源模块和动力单元;控制器与无线网络设备通信连接,无线网络设备与云平台通信连接;本发明通过云平台远程连接控制器的方式,使用户在可远程对设水体清洁装置进行控制,通过控制过滤单元和动力单元的启停,从而实现对水体杂质过滤启停的控制以及驱动水体清洁装置在水体中行走,通过过滤单元将水中大颗粒杂质过滤,并把杂质运回河岸上,以达到清洁河道池塘等水池的目的。实现对水体清洁装置的远距离、低延时、高效率的操
用于烟机的清洁系统及其控制方法以及烟机.pdf
本发明公开了一种用于烟机的清洁系统及其控制方法以及烟机,清洁系统包括:清洁液喷射组件,用于将清洁液喷射至烟机的叶轮;盛接组件,盛接组件具有盛接槽,盛接槽用于沿叶轮流下的清洁液;循环喷射组件,循环喷射组件与盛接组件相连且在循环状态和蒸汽状态之间可切换,循环喷射组件处于循环状态时将盛接槽内的溶液以液态形式喷射向叶轮,循环喷射组件处于蒸汽状态时将将盛接槽内的溶液以蒸汽形式喷射向叶轮;控制器。根据本发明实施例的用于烟机的清洁系统,采用蒸汽清洗结合循环喷淋,利用清洁液对叶轮进行喷淋,将油污软化溶解,再用蒸汽对叶轮进