一种掩模更换装置及高通量样品制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105372112A(43)申请公布日2016.03.02(21)申请号201510973339.4(22)申请日2015.12.21(71)申请人宁波英飞迈材料科技有限公司地址315040浙江省宁波市高新区聚贤路1299号(72)发明人闫宗楷徐子明向勇胡洁赫余应明(74)专利代理机构宁波诚源专利事务所有限公司33102代理人刘凤钦王莹(51)Int.Cl.G01N1/28(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种掩模更换装置及高通量样品制备方法(57)摘要本发明涉及一种掩模更换装置，包括有能够进行转动的掩模转台、驱动转台进行转动的第一驱动装置、放置基片的基片台，驱动基片台进行转动和升降的第二驱动装置，掩模转台与第一驱动装置传动连接，基片台和第二驱动装置传动连接。转台上具有多个放置分立掩模的掩模安装位，掩模安装位内的分立掩模能够随着转台的对应转动至基片台的上方。该掩模更换装置能够方便的更换基片上的分立掩模并能够精确调整分立掩模和基片相对位置。本发明还涉及一种高通量样品的制备方法，包括分立掩模高通量样品制备方法、连续掩模高通量样品制备方法和交叉制备方法。该高通量制备方法能够方便实现各种样品成分分布要求的高通量样品制备。CN105372112ACN105372112A权利要求书1/2页1.一种掩模更换装置，其特征在于：包括有能够进行转动的掩模转台(1)、用于驱动所述掩模转台(1)进行转动的第一驱动装置(11)、用于放置基片的基片台(2)，用于驱动基片台(2)进行转动和升降的第二驱动装置(21)，所述掩模转台(1)与所述第一驱动装置(11)传动连接，所述基片台(2)和所述第二驱动装置(21)传动连接；所述转台(1)上具有多个用于放置分立掩模的掩模安装位(12)，放置在所述掩模安装位(12)内的分立掩模能够随着掩模转台(1)对应转动至所述基片台(2)的上方。2.根据权利要求1所述的掩模更换装置，其特征在于：所述掩模转台(1)上具有能够供所述基片台(2)通过的连续掩模工作位(13)。3.根据权利要求2所述的掩模更换装置，其特征在于：还包括有连续掩模板(3)和用于驱动连续掩模板(3)线性移动的第三驱动装置(31)，所述连续掩模板(3)传动连接在所述第三驱动装置(31)上，所述连续掩模板(3)能够在第三驱动装置(31)的驱动下对应于基片台(2)的位置在基片台(2)的上方线性移动。4.根据权利要求3所述的掩模更换装置，其特征在于：还包括有一机架(4)，所述第一驱动装置(11)、第二驱动装置(21)、第三驱动装置(31)均设置在所述机架(4)内，所述掩模转台(1)传动连接在第一驱动装置(11)的上端，所述基片台(2)传动连接在第二驱动装置(21)的上端，所述基片台(2)对应于所述连续掩模工作位(13)的位置设置，所述连续掩模板(3)位于了所述掩模转台(1)的上方并在第三驱动装置(31)的驱动下在连续掩模工作位(13)上方线性水平移动。5.根据权利要求4所述的掩模更换装置，其特征在于：所述机架(4)上设置有用于限位所述连续掩模板(3)移动方向的限位装置(32)。6.根据权利要求4所述的掩模更换装置，其特征在于：所述连续掩模板(3)通过传动装置(33)连接在所述第三驱动装置(31)上。7.根据权利要求3～6任一权利要求所述的掩模更换装置，其特征在于：所述连续掩模板(3)为连续掩模或者为能够更换放置不同掩模的掩模台。8.一种高通量样品的制备方法，其特征在于：包括高通量样品的分立掩模制备方法、高通量样品的连续掩模制备方法和交叉制备方法；所述高通量样品的分立掩模制备方法包括以下步骤：步骤A1、将基片放置在基片台(2)上，将所有需要的分立掩模安装在掩模转台(1)的分立掩模安装位(12)上；步骤A2、根据材料样品的分布要求，掩模转台(1)在第一驱动装置(11)的驱动下转动，进而将当次需要的分立掩模转动至基片的上方；步骤A3、第二驱动装置(21)根据需要驱动基片台(2)转动所需角度，以将基片相对于分立掩模的相对水平角度调整至需要的相对位置，然后第二驱动装置(21)驱动基片台(2)向上移动，使得基片紧密贴覆在分立掩模上；步骤A4、在基片上进行当次材料的沉积；步骤A5、第二驱动装置(21)驱动基片台(2)向下移动，使得基片离开分立掩模；步骤A6、返回步骤A2，直至按照工艺参数要求完成所有材料在基片上的沉积；所述高通量样品的连续掩模制备方法包括以下步骤：步骤B1、将基片放置在基片台(2)上，保证掩模转台(1)上的连续掩模工作位(13)对2CN105372112A权利要求书2/2页应于基片台(2)；步骤B2、第二驱动装置(21)驱动基片台(2)上下移动以将基片与连