光栅莫尔条纹信号化重构方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107167080A(43)申请公布日2017.09.15(21)申请号201710402052.5(22)申请日2017.06.01(71)申请人常州秦宁迈超电子科技有限公司地址213000江苏省常州市西太湖科技产业园兰香路8号(72)发明人刘红忠史永胜尹磊范禅金(74)专利代理机构苏州广正知识产权代理有限公司32234代理人张利强(51)Int.Cl.G01B11/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称光栅莫尔条纹信号化重构方法(57)摘要本发明公开了一种光栅莫尔条纹信号化重构方法，包括以下步骤：a.信号预处理：对光栅莫尔条纹进行光电转化，通过滤波和运算处理后获取两路信号差约为90°的正弦电压信号和；b.信号的线性化重构：对步骤a中获取的信号和进行线性化重构，并引入辅助函数，最终经重构得到线性化函数；c.位移的计量：利用周期计数器记录莫尔条纹变化的整周期个数N，对于栅距为的增量式光栅线位移传感器，经过其计量得到的位移值x为。通过上述方式，本发明光栅莫尔条纹信号化重构方法，能够使得信号重构函数对原始信号的幅值变化不敏感，且具有良好的线性度并最终实现位移计量。CN107167080ACN107167080A权利要求书1/1页1.一种光栅莫尔条纹信号化重构方法，其特征在于，包括以下步骤：a.信号预处理：对光栅莫尔条纹进行光电转化，通过滤波和运算处理后获取两路信号差约为90°的正弦电压信号和；b.信号的线性化重构：对步骤a中获取的信号和进行线性化重构，构造线性化函数，，并引入辅助函数，，最终经重构得到线性化函数，；c.位移的计量：利用周期计数器记录莫尔条纹变化的整周期个数N，对于栅距为的增量式光栅线位移传感器，经过其计量得到的位移值x为，其中。2.根据权利要求1所述的光栅莫尔条纹信号化重构方法，其特征在于，所述步骤a中电压信号和，在理想状况下表示为，在实际存在误差得到情况下表示为，其中A代表信号的幅值，B代表信号的相位,C代表信号的直流分量。3.根据权利要求1所述的光栅莫尔条纹信号化重构方法，其特征在于，所述步骤b中的sgn函数，为符号函数，对于sgn函数，有对于符号，表示一种“异或”运算，即对于，若Y和Z的值相同，则计算结果是1，若Y和Z的值不同，则计算结果是0，对于线性化函数，其与真正理想线性三角波的偏差为该重构算法的理论误差，定义为，为理想三角波，有，最大理论误差为。4.根据权利要求1所述的光栅莫尔条纹信号化重构方法，其特征在于，所述c中的，其单位为rad（弧度），对于d和x，其单位均为（微米）。2CN107167080A说明书1/4页光栅莫尔条纹信号化重构方法技术领域[0001]本发明涉及光电测量领域，特别是涉及一种光栅莫尔条纹信号化重构方法。背景技术[0002]近年来光栅位移传感器在位移监测中得到了广泛的应用，成为了以莫尔条纹为理论的测量技术的最典型代表。光栅位移传感器必须包含一对光栅副，其中一块光栅尺作测量基准用，该尺称为标尺光栅（或称主光栅），另一块光栅尺则称为指示光栅。当两块光栅面对面叠合，就会产生莫尔条纹，当两光栅沿垂直于栅线方向作相对运动时，莫尔条纹便沿着与栅线方向相同的方向相应地移动。利用光电元件将变化的光强转化为变化的电信号，并经过电子元器件的滤波整形和运算处理，便可以得到相应的位移值。一般情况下，为了实现辨向和进一步的细分，必须把经过光电元件转换的莫尔条纹信号，处理成两路相位差约为90°的正弦电压信号。[0003]目前，国内外长光栅栅距大多为4μm以上，在实际应用中，仅依靠光栅栅距本身的分辨率，通常不能达到精密测量的要求。也就是说，必须采用莫尔条纹的细分技术来提高光栅测量系统的分辨率。[0004]然而，若直接对原始的两路正弦信号进行采样细分，则会存在以下问题，在对信号进行采样比较时，由于正、余弦信号的线性度不好，在一个周期内，相同位移差所对应的电压幅值差不同，特别是当电压幅值接近峰值时，光栅尺需要移动一个较大的位移才产生一个微小的电压变化，故而必须对原始信号进行重构。[0005]常用的重构算法主要是线性化重构算法，包括反正切算法、正余弦绝对相减（近似三角波）、正余弦绝对后相除（正切的绝对值，近似三角波）以及8细分法（利用正余弦近似线性的部分重构信号）。这些算法虽然都可以获得线性重构函数，但通常都对信号的幅值变化较为敏感且线性度有待提高。发明内容[0006]本发明主要解决的技术问题是提供一种光栅莫尔条纹信号化重构方法，能够使得信号重构函数对原始信号的幅值变化不敏感，且具有良好的线性度并最终实现位移计量。[0007]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种光栅莫尔条纹信号化重构方法，包