光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究的任务书.docx
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光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究的任务书.docx
光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究的任务书一、研究背景光栅莫尔条纹干涉计量是目前应用较为广泛的一种精密测量方法。传统的莫尔条纹干涉计量采用的是一个光源和一组刻度板,而在光栅莫尔条纹干涉计量中使用的是一个光栅,能够实现更高的精度和分辨率。随着科研技术的不断进步,光栅莫尔条纹干涉计量越来越被广泛应用于各个领域中,例如集成电路、纳米技术等。但是,其应用研究还有很大的发展空间和潜力,在某些领域中精度还需要进一步提高。二、研究目的本研究的目的是:1.深入研究光栅莫尔条纹干涉计量的基本原理和测量方法,掌握其在不同领域中
光栅莫尔条纹细分方法.pdf
本发明公开了一种光栅莫尔条纹细分方法,包括以下步骤:a.信号的预线性化:对原始的正、余弦莫尔条纹信号进行预线性化处理,将高度非线性的正、余弦信号转换为近似三角波信号,b.实时补偿信号的构造:对近似三角波信号进行补偿,得到信号幅值与光栅位移呈线性关系的三角波信号;c.辨向、细分及位移计算。通过上述方式,本发明光栅莫尔条纹细分方法,能够实现对光栅位移的线性计算和高倍细分,并使细分算法对原始信号缺陷不敏感,减小细分误差。
光栅莫尔条纹信号化重构方法.pdf
本发明公开了一种光栅莫尔条纹信号化重构方法,包括以下步骤:a.信号预处理:对光栅莫尔条纹进行光电转化,通过滤波和运算处理后获取两路信号差约为90°的正弦电压信号
《莫尔条纹动画》.ppt
莫尔条纹动画长光栅莫尔条纹长光栅光闸莫尔条纹播放中……光闸莫尔条纹环形莫尔条纹单击准备演示
光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究的任务书.docx
光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究的任务书任务书一、任务背景在现代制造业中,光刻技术在半导体制造、微电子学和微纳米加工领域中被广泛应用。光刻机是光刻技术中最为重要的工具之一,其解决了工艺复杂、微细加工需求高等问题。但在光刻制造过程中,光刻机出现周期性干涉条纹问题,其周期的控制和测量对于光刻制造工艺的优化和改进起着非常重要的作用。因此,本研究拟对光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制进行研究。二、任务目标本研究的主要目标是研究光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制方法,提高光刻机生产效率、成品