用于光刻设备的控制系统和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108702229A(43)申请公布日2018.10.23(21)申请号201680082269.6(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所(22)申请日2016.12.2311105代理人高巍(30)优先权数据14/979,5832015.12.28US(51)Int.Cl.H04J3/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G06F13/40(2006.01)2018.08.21G06F1/14(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H04L7/00(2006.01)PCT/EP2016/0826182016.12.23G03F7/20(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据H01J37/00(2006.01)WO2017/114794EN2017.07.06(71)申请人迈普尔平版印刷IP有限公司地址荷兰代夫特(72)发明人H.T.斯蒂恩斯特拉权利要求书3页说明书13页附图8页(54)发明名称用于光刻设备的控制系统和方法(57)摘要一种用于在第一时基中的第一开始时间值初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括生成时钟信号(402,116)，基于该时钟信号(116)在第一模块(120)中生成第二时基(403)，确定第二时基中的第二同步值(405)，确定与第二时基中第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)，基于第一时基中的第一同步值和开始时间值确定第二时基中的开始触发值(410)，并基于第一模块(120)中第二时基的开始触发值和当前值来初始化第一模块(120)中的第一操作(411)。CN108702229ACN108702229A权利要求书1/3页1.一种用于在第一时基中的第一开始时间值处初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括：生成时钟信号(402,116)；基于所述时钟信号(116)在所述第一模块(120)中生成第二时基(403)；确定所述第二时基中的第二同步值(405)；确定与所述第二时基中的第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)；基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定所述第二时基中的开始触发值(410)；和基于所述第一模块中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化所述第一模块(120)中的第一操作(411)。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二时基包括基于所述时钟信号(116)生成的计数值。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中确定所述第一同步值(406)包括生成同步信号(117)，并根据在所述第一时基中接收到同步信号的时间而确定所述第一同步值(406)，并且其中所述第二同步值对应于通过接收同步信号所确定的第二时基中的值。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述同步信号(117)与所述时钟信号(116)组合以形成单个组合信号(118)，其用于确定所述第一同步值(406)以及确定所述第二同步值(405)。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中确定所述开始触发值包括：基于所述开始时间值和所述第一同步值确定所述第一时基中的相对开始时间，其中所述开始触发值是第二时基中的与所述第一时基中的相对开始时间对应的值。6.根据权利要求2-5中任一项所述的方法，其中所述开始触发值对应于所述第二时基中的与所述第一时基中的相对开始时间对应的计数值。7.根据权利要求2-6中任一项所述的方法，其中当所述计数值对应于所述开始触发值时，初始化所述第一操作。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述方法还包括：在第二模块(130)中启动第二操作，包括：基于所述时钟信号(116)在所述第二模块(130)中生成(403)第二时基；和基于所述第二模块中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化第二模块(130)中的第二操作(411)。9.根据权利要求8所述的方法，其中所述第二时基包括基于所述时钟信号(116)在所述第一模块和所述第二模块中的每一个中生成的计数值。10.根据权利要求8或9所述的方法，其中所述第二同步值对应于所述第一模块和所述第二模块中的每一个中的计数值的重置。11.一种用于在第一时基中的第一开始时间值处初始化第一模块(120)中的第一操作的系统，该系统包括：时钟(115)，用于生成(402)时钟信号(116)；装置(125)，用于基于时钟信号(116)在第一模块(120)中生成(403)第二时基；装置(101)，用于确定与所述第二时基中的第二同步值对应的所述第一时基中的第一2CN108702229A权利要求书2/3页同步值；装置(126)，用于基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定(410)第二时基中的开始触发值；其中所述第一模块(120)包括用于基于所述第二