一种真空取样常压检测的检漏方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109470417A(43)申请公布日2019.03.15(21)申请号201910019155.2(22)申请日2019.01.09(71)申请人青岛泰斯迈仪器设备有限公司地址266000山东省青岛市中山路百盛1609室(72)发明人刘元成刘乃坤赵新军(74)专利代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350代理人汤东凤(51)Int.Cl.G01M3/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种真空取样常压检测的检漏方法(57)摘要本发明公开了一种真空取样常压检测的检漏方法，属于密封性测试技术领域，其检测步骤如下：(1)将填充有检测媒介的被检工件放入密闭空间内，对密闭空间抽真空，直至密闭空间的气压低于3000Pa；(2)抽真空结束后，接通取样机构，取样机构从密闭空间内提取样气，并将样气由真空状态转换为常压状态；(3)检测仪检测步骤(2)得到的常压样气，判定工件是否存有泄漏。此方法一方面使得密闭空间只是在有限空间内快速提供更高浓度的样气，其真空度不再依附于检测仪的要求，扩宽其压力范围，增大检测精度等级；另一方面可以跳出现有的氦检漏模式，采用更为广泛的冷媒等检测媒介，配备性价比更高的常压检测仪。CN109470417ACN109470417A权利要求书1/1页1.一种真空取样常压检测的检漏方法，包括检测仪、密闭空间以及与密闭空间相连的取样机构，其特征在于：检测步骤如下：(1)抽真空：将填充有检测媒介的被检工件放入密闭空间内，对密闭空间抽真空，直至密闭空间的气压低于3000Pa；(2)取样：步骤(1)抽真空结束后，接通取样机构，取样机构从密闭空间内提取样气，并将样气由真空状态转换为常压状态；(3)检测：检测仪检测步骤(2)得到的常压样气，如果检测结果显示样气中含有检测媒介，则判定工件存在泄漏；如果检测结果显示样气中没有检测媒介，则判定工件不存在泄漏；(4)取件：步骤(2)取样结束后，向密闭空间内充入空气，使其恢复常压后，取出被检工件；待步骤(3)和步骤(4)均完成后，完成一次检测。2.根据权利要求1所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：步骤(2)取样前还包括清洁取样机构的步骤，将取样机构中的气体排出呈放空状态。3.根据权利要求2所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：步骤(1)中所用检测媒介为冷媒。4.根据权利要求1至3任一所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述取样机构包括能随气压自动调节容积的收纳体，收纳体连通取样管，取样管的另一端连通封闭空间，取样管上设置第一真空泵。5.根据权利要求4所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述取样管上连接放空管，放空管位于第一真空泵的后侧，放空管上设置第三开关阀，取样管上还设置第四开关阀，第四开关阀位于第一真空泵的前侧。6.根据权利要求5所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述收纳体还连通清洁气道和排空收纳体的排气道，清洁气道上设置第一开关阀，排气道上设置第二开关阀。7.根据权利要求6所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述清洁气道和排气道通过切换阀共用抽气泵。8.根据权利要求7所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述收纳体连通分支管，分支管的第一分支口通过第五开关阀连通取样管，分支管的第二分支口通过第六开关阀连通测量仪，分支管的第三分支口连通清洁气道和排气道。9.根据权利要求8所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述取样机构还包括控制器，收纳体上设置压力传感器，控制器根据压力传感器的压力信号控制第一开关阀、第二开关阀和切换阀的通断。10.根据权利要求4所述的真空取样常压检测的检漏方法，其特征在于：所述第一真空泵为干式真空泵。2CN109470417A说明书1/4页一种真空取样常压检测的检漏方法技术领域[0001]本发明属于密封性测试技术领域，具体涉及一种真空取样常压检测的检漏方法。背景技术[0002]目前，管道和腔室的气密性检测方法通常有两种：正压法和负压法。正压法是在管道或腔室内充注一定压力的检测介质，然后采用泵将管道或者腔室外部的气体送入检漏仪进行检测，以气体中是否含有检测介质来判定是否存在泄漏。此种检测方法一方面无法保证作业环境的纯净度，另一方面所用检漏仪的性能参差不齐，致使存有干扰问题，检测结果不够准确，故在高精度检测中均采用负压法。负压法多采用氦气作为检测介质，在管道或者腔室内充入一定量氦气后放入真空箱中，将真空箱内抽到检测仪要求的高真空状态后直接取样进行检测。[0003]中国发明专利申请201510053704.X通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的