一种密封接头、真空检漏装置及检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108362441A(43)申请公布日2018.08.03(21)申请号201810097362.5(22)申请日2018.01.31(66)本国优先权数据201711371209.92017.12.19CN(71)申请人爱发科东方真空（成都）有限公司地址611731四川省成都市高新西区百草路1189号(72)发明人张果蓝峰李健瞿骑龙雷福元(74)专利代理机构成都天既明专利代理事务所(特殊普通合伙)51259代理人李钦彭立琼(51)Int.Cl.G01M3/02(2006.01)F16J15/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种密封接头、真空检漏装置及检测方法(57)摘要本发明涉及一种真空检漏设备中的密封接头，包括充气通道，所述充气通道下部设置有隔离室，以及内置于充气通道和隔离室内的隔离体，所述隔离体包括隔离管和固连在隔离管底部的隔离塞；所述隔离管上部与充气通道相通，下部与隔离室相通；在隔离室下方的充气通道壁面上设置有密封部件，所述隔离塞能与密封部件形成密封面，并能在所述密封部件与隔离室之间上下移动。本发明密封接头既能密封工件接管，又能确保充气通道的检漏气体能够顺利的进入工件的检测腔，使密封头及充气管路内残留的氦气无法逸散到真空箱内，从而减少和避免了对真空箱本底以及A腔内漏检测的影响。本发明还涉及一种真空检漏装置及其检测方法。CN108362441ACN108362441A权利要求书1/1页1.一种密封接头，包括充气通道，其特征在于，所述充气通道下部设置有隔离室，以及内置于充气通道和隔离室内的隔离体，所述隔离体包括隔离管和固连在隔离管底部的隔离塞；所述隔离管上部与充气通道相通，下部与隔离室相通；在隔离室下方的充气通道壁面上设置有密封部件，所述隔离塞能与密封部件形成密封面，隔离塞能在所述密封部件与隔离室之间上下移动。2.根据权利要求1所述的密封接头，其特征在于：所述隔离体上固连弹性部件。3.根据权利要求2所述的密封接头，其特征在于：所述弹性部件为弹簧，其一端固连在隔离室内，另一端固连在隔离体上。4.根据权利要求1所述的密封接头，其特征在于：所述密封塞下端设置有气道。5.根据权利要求1所述的密封接头，其特征在于：所述密封部件为O型圈。6.根据权利要求1所述的密封接头，其特征在于：所述隔离管外壁与充气通道滑动密封。7.根据权利要求3所述的密封接头，其特征在于：所述充气通道上部设置有限位装置。8.一种真空检漏装置，其特征在于，其至少一个密封头包括权利要求1至7任一项所述的密封接头。9.一种真空检漏装置的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：1.1将双腔工件放置入真空箱内固定，工件接管朝上，关上真空箱，抽真空；1.2工件A腔检漏：1.2.1驱动A腔密封头下降，A腔密封头内的充气通道与工件的A腔接管对接;A腔接管的外壁与充气通道下部壁面上设置的密封部件形成密封面；A腔密封头的充气通道充入检漏气体，气体通过A腔接管进入A腔，检测A腔外漏及对B腔的内漏；在A腔检漏的同时，B腔密封头内设置于充气通道和隔离室内的隔离体，其包括隔离塞；隔离塞外壁与B腔密封头内的充气通道下部壁面上设置的密封部件形成密封面，且隔离塞将B腔密封头内的充气通道与密封头外部隔断；1.3若A腔检测合格，对工件的B腔进行检漏:1.3.1再次驱动检漏装置上部的B腔密封头下降，使B腔接管进入B腔充气通道下端；1.3.2B腔密封头继续下降，B腔接管顶端与隔离塞下端接触，将隔离塞向上顶入隔离室，与此同时，B腔接管外壁与充气通道下部壁面上设置的密封部件形成密封面；此时，B腔接管通过隔离塞下端的气道与隔离室相通，隔离室通过隔离管与充气通道相通；1.3.3然后B腔密封头的充气通道充入检漏气体，气体通过B腔接管进入B腔，检测B腔外漏；若B腔检测合格，则整个工件检漏合格，否则不合格；1.4工件检漏结束，A腔、B腔充气通道检漏气体回收；驱动A腔密封头、B腔密封头上升，隔离塞向下移动，隔离塞外壁与密封部件形成密封面；隔离塞下端的气道与隔离室断开，充气通道、隔离室无法与密封头外部连通；A、B腔密封头与下部对应的工件A腔、B腔接管脱开；1.5打开真空箱，取出工件，放入下一个待检漏的工件，并重复以上步骤检漏。10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于：隔离塞通过弹簧与隔离室弹性连接，所述步骤1.2.4，所述步骤1.3.2，所述步骤1.4中的隔离塞通过弹簧压缩和复位实现在隔离室与密封部件之间的上下移动。2CN108362441A说明书1/3页一种密封接头、真空检漏装置及检测方法技术领域[0001]本发明属于真空检漏技术领域，具体涉及一种真空检漏设备中的密封接头，本发明还涉及一种检漏装置及其检