一种紫外多波长曝光光源及曝光设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109814342A(43)申请公布日2019.05.28(21)申请号201910120063.3(22)申请日2019.02.18(71)申请人珠海迈时光电科技有限公司地址519000广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房(72)发明人王乡张为国杜春雷(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人曹卫良(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图1页(54)发明名称一种紫外多波长曝光光源及曝光设备(57)摘要本发明提供的紫外多波长曝光光源，包括多个UVLED光源灯盘模块、UVLED准直模块、合束模块、匀光模块及匹配镜头模块，UVLED光源灯盘模块出射的光束，经过对应的UVLED准直模块准直后，分别入射到合束模块，合束模块中的合束镜对入射的光束进行透射和/或反射后形成的混波光束，以一定的张角入射到匀光模块，匀光模块对不同空间非均匀光束光斑进行切割放大组合生成均匀光斑，再经匹配镜头将光束尺寸及张角进行变换，形成外部图形发生器以及投影镜头所要求的光束参数，本发明提供的紫外多波长曝光光源，使得可供选择的紫外波段大大增多，可涵盖全系列的用于曝光领域的紫外波段，扩大了其应用范围。CN109814342ACN109814342A权利要求书1/2页1.一种紫外多波长曝光光源，其特征在于，包括：多个UVLED光源灯盘模块、与任意一UVLED光源灯盘模块对应设置的UVLED准直模块、合束模块、匀光模块及匹配镜头模块，所述合束模块包括若干个合束镜，任意一所述合束镜与所述UVLED准直模块对应设置，所述合束镜可对入射的光束进行透射或反射，其中：所述UVLED光源灯盘模块出射的光束，经过对应的所述UVLED准直模块准直后，分别入射到所述合束模块，所述合束模块中的合束镜对入射的光束进行透射和/或反射后形成的混波光束，以一定的张角入射到所述匀光模块，所述匀光模块对不同空间非均匀光束光斑进行切割放大组合生成均匀光斑，再经所述匹配镜头将光束尺寸及张角进行变换，形成外部图形发生器以及投影镜头所要求的光束参数。2.如权利要求1所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，所述UVLED光源灯盘模块为4个，分别记为第一UVLED光源灯盘模块、第二UVLED光源灯盘模块、第三UVLED光源灯盘模块及第四UVLED光源灯盘模块，所述第二UVLED光源灯盘模块、第三UVLED光源灯盘模块及第四UVLED光源灯盘模块并排设置，其中所述第一UVLED光源灯盘模块出射的光束经对应的所述UVLED准直模块准直后入射到所述合束模块，所述合束模块中的合束镜对入射的光束进行透射；所述第二UVLED光源灯盘模块及第三UVLED光源灯盘模块出射的光束经对应所述UVLED准直模块准直后入射到所述合束模块，所述合束模块中对应的合束镜对入射的光束进行反射再经其他合束镜透射，所述第四UVLED光源灯盘模块出射的光束经对应的所述UVLED准直模块准直后入射到所述合束模块，所述合束模块中对应的合束镜对入射的光束进行反射，4个所述UVLED光源灯盘模块经所述合束模块后形成混波光束。3.如权利要求2所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，4个所述UVLED光源灯盘模块经所述合束模块后形成混波光束的光强度为:W＝W1T1,1T2,1T3,1+W2R1,1T3,2T3,2+W3R2,3T3,3+W4R4,4，其中，第一UVLED光源灯盘模块出射的光束波长为λ1，出光功率为W1，第二UVLED光源灯盘模块出射的光束波长为λ2，出光功率为W2，第三UVLED光源灯盘模块出射的光束波长为λ3，出光功率为W3，第四UVLED光源灯盘模块出射的光束波长为λ4，出光功率为W4，对应的合束镜对λ1透过率为T1,1，对λ2反射率为R1,1，对应的合束镜对λ1透过率为T2,1，对λ2透过率为T2,2，对λ3反射率为R2,3，对应的合束镜对λ1透过率为T3,1，对λ2透过率为T3,2，对λ3透过率为T3,3，对λ4反射率为R4,4。4.如权利要求1所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，所述UVLED光源灯盘模块包括基板、固定于所述基板上的UVLED、与所述基板贴合的热沉及开设于所述热沉上的进水通道及出水通道。5.如权利要求1所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，所述匀光模块为单长条透镜拼接或两列单透镜组合。6.如权利要求1所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，所述匹配镜头模块为一组透镜组合，其为单组透镜或透镜组形式。7.如权利要求6所述的紫外多波长曝光光源，其特征在于，所述透镜组合为单组透镜组合或透镜组组合。8.如权利要求1所述的紫外多波长曝光光源，其特征