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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113711374A(43)申请公布日2021.11.26(21)申请号202080029492.0(72)发明人朴鲁善赵昶济(22)申请日2020.04.13(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司(30)优先权数据1133210-2019-00448922019.04.17KR代理人吕琳田英爱10-2019-00720922019.06.18KR(51)Int.Cl.10-2019-00720932019.06.18KRH01L51/00(2006.01)10-2019-00720942019.06.18KRH01L51/56(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.10.18(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2020/0049642020.04.13(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/213901KO2020.10.22(71)申请人迈格森株式会社地址韩国忠清南道天安市权利要求书2页说明书15页附图21页(54)发明名称母面板运送装置、显示面板检查装置及显示面板检查设备(57)摘要根据本发明一实施例的母面板运送装置可以包括:平台模块,其以母面板的一面朝向上部的正常状态吸附并固定上述母面板的另一面;运送模块,其吸附在上述平台模块上从上述正常状态变换为上述翻转状态的上述母面板的上述另一面,然后移动到用于检查上述显示面板是否有缺陷的第一位置;真空吸附模块,其检查上述显示面板是否有缺陷;拾取模块,其吸附通过上述运送模块移动到上述第一位置的上述母面板的上述另一面,然后移动到第二位置,从而检查上述显示面板是否有缺陷。CN113711374ACN113711374A权利要求书1/2页1.一种母面板运送装置,其特征在于,包括:平台模块,其以母面板的一面朝向上部的正常状态吸附并固定所述母面板的另一面,所述母面板的一面具有至少一种种类的显示面板,所述显示面板沉积有用于形成有机发光层的有机物层,所述平台模块旋转使所述母面板从所述正常状态成为所述一面朝向下部的状态的翻转状态;运送模块,其吸附在所述平台模块上从所述正常状态变换为所述翻转状态的所述母面板的所述另一面,然后将所述母面板保持所述翻转状态下移动到用于检查所述显示面板是否有缺陷的第一位置;真空吸附模块,其通过与安装有探针块的探针单元的相互作用来检查所述显示面板是否有缺陷;及拾取模块,其吸附通过所述运送模块移动到所述第一位置的所述母面板的所述另一面,然后在保持所述翻转状态下移动到第二位置,通过所述真空吸附模块,所述母面板保持所述翻转状态下所述另一面被吸附,并通过所述相互作用来检查所述显示面板是否有缺陷。2.根据权利要求1所述的母面板运送装置,其特征在于,所述真空吸附模块在将所述母面板保持所述翻转状态的状态下通过位置移动使所述显示面板的电极板和所述探针块接触,进而以所述翻转状态针对所述显示面板是否有缺陷进行检查。3.根据权利要求1所述的母面板运送装置,其特征在于,若通过所述拾取模块吸附所述另一面,则所述运送模块解除吸附并从所述母面板分离,然后向原位置进行位置移动。4.根据权利要求1所述的母面板运送装置,其特征在于,所述第二位置是以所述第一位置为基准通过所述拾取模块上升至所述真空吸附模块的位置。5.根据权利要求1所述的母面板运送装置,其特征在于,所述平台模块包括多个平台单元,其以所述正常状态吸附所述母面板的所述另一面,使所述母面板的中央部不会因自重而下沉,所述多个平台单元分别相互间隔配置,以在彼此之间形成第一空间。6.根据权利要求5所述的母面板运送装置,其特征在于,所述运送模块包括多个运送单元,若所述平台模块旋转使所述母面板的状态从所述正常状态变换为所述翻转状态,则所述多个运送单元插入于所述第一空间,并吸附以所述翻转状态配置的所述母面板的所述另一面,使所述母面板的中央部不会因自重而下沉。7.根据权利要求1所述的母面板运送装置,其特征在于,所述拾取模块从位于第三位置的状态通过下降穿过所述真空吸附模块后移动到所述第一位置,并吸附通过所述运送模块移动到所述第一位置的所述母面板的所述另一面,然后通过上升移动到所述第二位置,以便通过所述真空吸附模块吸附所述母面板的所述另一面。8.根据权利要求7所述的母面板运送装置,其特征在于,所述拾取模块包括多个拾取单元,其相互间隔配置以便能够均匀地吸附所述母面板的2CN113711374A权利要求书2/2页所述另一面。9.根据权利要求7所述的母面板运送装置,其特征在于,若移动到所述第二位置的所述母面板的所述另一面由所述真空吸附模块吸附,则所述拾取模块解除吸附并从所述母面板分离,然后返回到所述第三位置。3CN113711374A说明书1/15页母面板